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专利号: 2023225922563
申请人: 刘法辰
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-12-17
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆键合自动连通管路,其特征在于:包括密封外管道(1),所述密封外管道(1)连通离子束刻蚀机与热压炉,使得离子束刻蚀机与热压炉之间连通;

所述密封外管道(1)内部设有晶圆移动装置(2)和晶圆辅助定位输送装置(3);

所述晶圆移动装置(2)为传送带(4),

所述晶圆辅助定位输送装置(3)包括升降气缸(5)、晶圆取出气缸(6)和晶圆送入气缸(7);

所述升降气缸(5)降低后,所述晶圆取出气缸(6)将含有晶圆的模具从离子束刻蚀机内取出到传送带(4)上,所述升降气缸(5)升起,晶圆通过所述传送带(4)运送到指定位置,所述升降气缸(5)降低,所述晶圆送入气缸(7)将含有晶圆的模具送至热压炉指定位置。

2.根据权利要求1所述一种晶圆键合自动连通管路,其特征在于:所述升降气缸(5)活动设置于密封外管道(1)顶部。

3.根据权利要求1所述一种晶圆键合自动连通管路,其特征在于:所述传送带(4)靠近热压炉一侧设有限位卡块(8)。

4.根据权利要求1所述一种晶圆键合自动连通管路,其特征在于:所述晶圆取出气缸(6)和晶圆送入气缸(7)反向设置于升降气缸(5)底部。

5.根据权利要求1所述一种晶圆键合自动连通管路,其特征在于:所述晶圆取出气缸(6)一端设有取出装置(9)。