1.一种硅片清洗机上料装置,其特征在于,包括安装架(1)、限位单元(2):
所述安装架(1)内设置有输送组件(5),所述安装架(1)的上表面设置有支撑架(6),所述支撑架(6)上设置有移动单元(3),所述移动单元(3)上设置有机械抓手组件(4),所述限位单元(2)设置在所述安装架(1)内,且所述限位单元(2)位于所述输送组件(5)的上方;
所述限位单元(2)包括安装腔(21)、滑杆(25)、电动推杆(27),所述安装腔(21)共两个且均设置在所述安装架(1)内,两个所述安装腔(21)内均设置有接触开关(22),所述滑杆(25)共两个且均滑动连接所述安装架(1),两个所述滑杆(25)位于所述安装腔(21)内的端部均设置有顶板(23),两个所述滑杆(25)的另一端均设置有限位板(26),两个所述滑杆(25)上均套接有弹簧(24),所述限位板(26)滑动连接所述输送组件(5),所述电动推杆(27)共两个且分别设置在所述安装架(1)的两侧的侧面,所述电动推杆(27)的伸缩端滑动连接所述安装架(1),所述电动推杆(27)的伸缩端安装有推板(28),所述推板(28)滑动连接所述输送组件(5)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机上料装置,其特征在于:所述移动单元(3)包括驱动电机(31)、螺杆(32)、升降组件(33),所述驱动电机(31)设置在所述支撑架(6)的侧面,所述螺杆(32)转动连接在所述支撑架(6)上,所述螺杆(32)连接所述驱动电机(31),所述升降组件(33)螺纹连接所述螺杆(32),所述升降组件(33)滑动连接所述支撑架(6),所述升降组件(33)上安装所述机械抓手组件(4)。
3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机上料装置,其特征在于:还包括刮板(7),所述刮板(7)设置在所述安装架(1)内,且位于所述输送组件(5)的正下方,所述刮板(7)滑动连接所述输送组件(5)。
4.根据权利要求3所述的一种硅片清洗机上料装置,其特征在于:还包括安装孔(8)和接料盒(9),所述安装孔(8)设置在所述安装架(1)的侧面,所述接料盒(9)滑动安装在所述安装孔(8)内,所述接料盒(9)位于所述刮板(7)的正下方。
5.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机上料装置,其特征在于:还包括缓冲垫(10),所述缓冲垫(10)分别设置在所述限位板(26)和所述推板(28)的侧面。