1.真空离子镀膜设备的移动平台定位机构,其特征在于,包括:
底座(10)以及移动平台(20);
固定结构(30),所述固定结构(30)安装于底座(10)侧表面,且所述固定结构(30)用于固定;
限位结构(40),所述限位结构(40)安装于底座(10)上表面,且所述限位结构(40)用于限位;
阻力结构(50),所述阻力结构(50)安装于限位结构(40)上,且所述阻力结构(50)用于增加阻力;
压力感知结构(60),所述压力感知结构(60)安装于限位结构(40)上,且所述压力感知结构(60)用于感知压力;
第一定位结构(70),所述第一定位结构(70)安装于底座(10)上表面,且所述第一定位结构(70)用于定位;
第二定位结构(80),所述第二定位结构(80)安装于底座(10)上表面,且所述第二定位结构(80)用于定位。
2.如权利要求1所述的真空离子镀膜设备的移动平台定位机构,其特征在于,所述固定结构(30)包括:两对固定圆环(31)以及两对固定螺栓(32);
两对所述固定圆环(31)安装于底座(10)侧表面,每个所述固定螺栓(32)安装于相对应的固定圆环(31)上。
3.如权利要求1所述的真空离子镀膜设备的移动平台定位机构,其特征在于,所述限位结构(40)包括:两对限位壳体(41);
所述底座(10)上表面设有两对条形凹槽,每个所述限位壳体(41)安装于相对应的条形凹槽处。
4.如权利要求3所述的真空离子镀膜设备的移动平台定位机构,其特征在于,所述阻力结构(50)包括:四对防滑垫(51);
每对所述防滑垫(51)安装于相对应的限位壳体(41)上。
5.如权利要求3所述的真空离子镀膜设备的移动平台定位机构,其特征在于,所述压力感知结构(60)包括:两对固定架(61)以及两对压力传感器(62);
每个所述限位壳体(41)内下表面设有矩形凹槽,每个所述固定架(61)安装于相对应的矩形凹槽处,每个所述压力传感器(62)安装于相对应的固定架(61)上。
6.如权利要求3所述的真空离子镀膜设备的移动平台定位机构,其特征在于,所述第一定位结构(70)包括:四对第一固定支撑架(71)、四对第一电控伸缩杆(72)、四对第一连接板(73)以及四对第一限制定位块(74);
所述底座(10)上设有四对第一方形凹槽,每个所述第一固定支撑架(71)安装于相对应的第一方形凹槽处,每个所述第一电控伸缩杆(72)安装于相对应的第一固定支撑架(71)上,每个所述第一连接板(73)安装于相对应的第一电控伸缩杆(72)伸缩端上,每个所述第一限制定位块(74)安装于相对应的第一连接板(73)上表面,且每对所述第一限制定位块(74)与相对应的限位壳体(41)相匹配。
7.如权利要求6所述的真空离子镀膜设备的移动平台定位机构,其特征在于,所述第二定位结构(80)包括:四对第二固定支撑架(81)、四对第二电控伸缩杆(82)、第二连接板(83)以及拦阻板(84);
所述底座(10)上设有条形开口,四对所述第二固定支撑架(81)安装于相对应的条形开口处,每个所述第一电控伸缩杆(72)安装于相对应的第二固定支撑架(81)上,所述第二连接板(83)安装于四对所述第二电控伸缩杆(82)伸缩端上,所述拦阻板(84)安装于第二连接板(83)上。
8.如权利要求1所述的真空离子镀膜设备的移动平台定位机构,其特征在于,所述底座(10)上设有市电接口(90),所述底座(10)上设有控制器(100)。