1.一种真空离子镀膜用送气装置，其特征在于，包括混合腔结构，其具有进气口(1)和出气口(2)；

所述进气口(1)处连接有进气管道(3)，所述进气管道(3)与提供气体的气瓶连接；

所述出气口(2)处连接有出气管道(4)，所述出气管道(4)上设置多组支路管道(5)；

所述混合腔结构的进气口(1)所在端还设置辅助加压机构，通过所述辅助加压机构向所述混合腔结构内施加气压以使所述混合腔结构的所述出气口(2)端保持恒定送气气压。

2.根据权利要求1所述的一种真空离子镀膜用送气装置，其特征在于，所述进气管道(3)上设有第一电磁阀(6)。

3.根据权利要求1所述的一种真空离子镀膜用送气装置，其特征在于，所述出气管道(4)上设有第二电磁阀(7)。

4.根据权利要求1所述的一种真空离子镀膜用送气装置，其特征在于，所述支路管道(5)上设有第三电磁阀(8)。

5.根据权利要求1所述的一种真空离子镀膜用送气装置，其特征在于，所述混合腔结构包括第一球形腔(9)、第二球形腔(10)、以及直筒腔(11)，所述直筒腔(11)连通在所述第一球形腔(9)与所述第二球形腔(10)之间；

所述第一球形腔(9)内设置水平隔板(12)，所述水平隔板(12)上开设有多个通气孔(13)；

所述直筒腔(11)内设置螺旋上升的螺旋通道(14)，所述第一球形腔(9)内的气体通过所述直筒腔(11)内的所述螺旋通道(14)输送至所述第二球形腔(10)内。

6.根据权利要求5所述的一种真空离子镀膜用送气装置，其特征在于，所述辅助加压机构包括直筒(15)，所述直筒(15)一端连通加压管道(16)，所述加压管道(16)连通至所述第一球形腔(9)；

所述直筒(15)内设置活塞(17)以及连接在所述活塞(17)上的活塞推杆(18)，所述活塞推杆(18)由外部电控推杆推动移动。

7.根据权利要求6所述的一种真空离子镀膜用送气装置，其特征在于，所述加压管道(16)上设有第四电磁阀(19)。