1.一种半导体芯片平整度检测装置,其特征在于,包括:
工作台(1),所述工作台(1)的外壁安装有检测台(2),所述检测台(2)的内壁安装有电机(4),所述电机(4)的外壁安装有螺纹丝杆(5),所述螺纹丝杆(5)的外壁环绕安装有移动块(6);
所述移动块(6)的外壁设有调节槽(8),所述调节槽(8)的内壁安装有锁紧板(9),所述锁紧板(9)的外壁设有螺纹槽(10),所述调节槽(8)的内壁活动安装有滑动板(11),所述滑动板(11)的外壁安装有螺纹杆(12),且螺纹杆(12)的一端延伸至螺纹槽(10)的内部,所述滑动板(11)的外壁安装有杆体(13),所述杆体(13)的外壁安装有电磁铁(14),所述电磁铁(14)的外壁安装有磁铁本体(15),所述磁铁本体(15)的外壁安装有收集盒(16)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片平整度检测装置,其特征在于:所述检测台(2)的内壁安装有平整测试结构(3),所述移动块(6)的外壁安装有夹持机构(7)。
3.根据权利要求1所述的一种半导体芯片平整度检测装置,其特征在于:所述检测台(2)的内壁安装有除尘盒(17),所述检测台(2)的外壁设有通风槽(19),且通风槽(19)的一端延伸至除尘盒(17)的内部,所述通风槽(19)的内壁安装有防尘网(20)。
4.根据权利要求3所述的一种半导体芯片平整度检测装置,其特征在于:所述除尘盒(17)的内壁安装有除尘扇(18)。
5.根据权利要求3所述的一种半导体芯片平整度检测装置,其特征在于:所述除尘盒(17)的内壁安装有电动伸缩杆(21),所述电动伸缩杆(21)的输出端设有吸尘网(22)。
6.根据权利要求5所述的一种半导体芯片平整度检测装置,其特征在于:所述电动伸缩杆(21)的输出端安装有安装壳(23),所述安装壳(23)的内壁设有卡槽(24),所述吸尘网(22)的外壁安装有安装柱(25),所述安装柱(25)的外壁设有安装槽(26),所述安装槽(26)的内壁安装有滑杆(27),所述滑杆(27)的外壁环绕安装有滑板(28),所述安装槽(26)的内壁安装有弹簧(29),且弹簧(29)的一端延伸至滑板(28)的外壁。
7.根据权利要求6所述的一种半导体芯片平整度检测装置,其特征在于:所述滑板(28)的外壁安装有卡柱(30)。