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专利号: 2023222064217
申请人: 连云港龙塔研磨材料有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-11-04
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种碳化硅单晶生长装置,包括生长炉(1),所述生长炉(1)内设有加热器(2),所述加热器(2)内设有碳碳坩埚(3),所述碳碳坩埚(3)内设有石英坩埚(4),所述生长炉(1)上部设有提拉装置;

其特征在于:所述生长炉(1)底部设有框体(5),所述框体(5)上部设有通孔(6),所述生长炉(1)底部设有与通孔(6)相对应的开口(7),所述开口(7)内设有底板(8),所述底板(8)与开口(7)封合,所述底板(8)底部设有电推杆(9),所述电推杆(9)底部设有固定板(10),所述框体(5)内设有轴承座(11),所述轴承座(11)上轴承连接有螺纹杆一(12),所述螺纹杆一(12)上设有螺纹套一(13),所述螺纹套一(13)与固定板(10)连接,所述螺纹杆一(12)一端设有电机一(14),所述电机一(14)右部设有固定装置,所述固定装置上设有滑杆一(15),所述滑杆一(15)与轴承座(11)连接,所述滑杆一(15)上设有滑套一(16),所述滑套一(16)与螺纹套一(13)连接。

2.根据权利要求1所述一种碳化硅单晶生长装置,其特征在于:所述固定装置为冷气机(17),所述冷气机(17)上设有冷气管(18)。

3.根据权利要求1所述一种碳化硅单晶生长装置,其特征在于:所述提拉装置包括滑杆二(19),所述框体(5)上设有滑杆二(19),所述滑杆二(19)上设有支撑板(20),所述支撑板(20)底部设有电机二(21),所述电机二(21)上设有螺纹杆二(22),所述螺纹杆二(22)一端轴承连接在框体(5)上,所述滑杆二(19)和螺纹杆二(22)上分别设有滑套二(23)和螺纹套二(24),所述螺纹套二(24)上设有连接板(25),所述连接板(25)上设有提拉杆(26),所述提拉杆(26)内设有电机三(27),所述电机三(27)上设有螺纹杆三(28),所述螺纹杆三(28)端部设有夹头(29),所述夹头(29)内设有籽晶(30)。