1.一种芯片无损检测探针装置,包括控制板、检测台(1)和待检测芯片(6),其特征在于,所述检测台(1)上开设有第一滑槽(2),所述第一滑槽(2)内设有第一螺杆(4),所述检测台(1)侧壁固定安装有第一电机(3),所述第一电机(3)的输出端与第一螺杆(4)同轴固定连接,所述第一滑槽(2)内移动有移动台(5),所述待检测芯片(6)放置在移动台(5)上,所述移动台(5)两侧设有一对安装台(7),所述安装台(7)上设有驱动机构,所述驱动机构上固定安装有检测探针(11),所述驱动机构包括用于带动检测探针(11)移动的连接杆(10),所述检测探针(11)上设有用于方便芯片识别不合格区域的标记机构。
2.根据权利要求1所述的一种芯片无损检测探针装置,其特征在于,所述驱动机构还包括:
第二螺杆(8)和第二电机(14),所述安装台(7)靠近移动台(5)的一侧开设有第二滑槽,所述第二螺杆(8)设置在第二滑槽内,所述第二电机(14)固定安装在安装台(7)侧壁上,所述第二电机(14)的输出端与第二螺杆(8)同轴固定连接;
移动滑块(9),所述移动滑块(9)上开设有与第二螺杆(8)相适配的螺纹孔,所述移动滑块(9)在第二滑槽内移动,所述检测探针(11)与连接杆(10)靠近移动台(5)的一端固定连接,所述检测探针(11)位于待检测芯片(6)上方。
3.根据权利要求2所述的一种芯片无损检测探针装置,其特征在于,所述标记机构包括:
储液箱(12)和液泵(13),所述储液箱(12)设置在安装台(7)的顶部,所述液泵(13)固定安装在连接杆(10)上,所述液泵(13)与连通管(15)连通;
喷嘴(16),所述喷嘴(16)固定安装在探针(11)上,所述连通管(15)一端与储液箱(12)连通,且另一端与喷嘴(16)相连通。
4.根据权利要求1所述的一种芯片无损检测探针装置,其特征在于,所述移动台(5)上设有夹持机构,所述夹持机构包括一对夹持板件、第三螺杆和旋钮,所述移动台(5)上开设有第三滑槽,所述第三螺杆设置在第三滑槽内,所述第三螺杆一端贯穿移动台(5),且另一端与第三滑槽内壁转动连接,所述第三螺杆贯穿移动台(5)的一端与旋钮同轴固定连接。
5.根据权利要求3所述的一种芯片无损检测探针装置,其特征在于,所述控制板设置在检测台(1)上,所述控制板分别与检测探针(11)、液泵(13)、第一电机(3)和第二电机(14)电路连接。
6.根据权利要求1所述的一种芯片无损检测探针装置,其特征在于,所述检测台(1)底部设有多个用于支撑装置的支撑脚架(17)。