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专利号: 202321711495X
申请人: 美若科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-11-27
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种MPCVD设备的气体定量填充装置,其特征在于:包括压力盒(1),所述压力盒(1)的内部滑动卡接有调节板(2),所述调节板(2)的下表面固定安装有压力活塞(3),所述调节板(2)的中心位置镶嵌安装有调节电机(4),所述调节电机(4)的输出端固定安装有调节螺纹杆(5),所述压力活塞(3)的一侧安装有单向气压阀(6),所述压力活塞(3)的另一侧安装有填充气泵(7)。

2.根据权利要求1所述的一种MPCVD设备的气体定量填充装置,其特征在于:所述压力盒(1)的上端中心位置开设有调节螺纹孔,所述调节螺纹杆(5)贯穿所述调节螺纹孔延伸至外界,且所述调节螺纹杆(5)与所述调节螺纹孔之间相互转动啮合。

3.根据权利要求1所述的一种MPCVD设备的气体定量填充装置,其特征在于:所述调节板(2)的四角均开设有限位孔,所述调节板(2)的上表面四角均固定安装有限位杆(201),所述限位杆(201)与所述限位孔之间相互滑动卡接。

4.根据权利要求1所述的一种MPCVD设备的气体定量填充装置,其特征在于:所述压力盒(1)的一侧开设有输入通孔,所述压力活塞(3)的一侧开设有进气孔,所述进气孔贯穿所述调节板(2),所述进气孔的内部镶嵌安装有进气管(301),所述进气管(301)与所述输入通孔之间相互滑动卡接。

5.根据权利要求4所述的一种MPCVD设备的气体定量填充装置,其特征在于:所述填充气泵(7)固定安装于所述进气管(301)的输出端,且所述填充气泵(7)的输处端与所述进气管(301)的输入口之间相互连通,所述填充气泵(7)的输入端安装有输入连接管(701)。

6.根据权利要求1所述的一种MPCVD设备的气体定量填充装置,其特征在于:所述压力盒(1)的一侧开设有输出通孔,所述压力活塞(3)的一侧开设有出气孔,所述出气孔贯穿所述调节板(2),所述出气孔的内部镶嵌安装有出气管(302),所述出气管(302)与所述输出通孔之间相互滑动卡接。

7.根据权利要求6所述的一种MPCVD设备的气体定量填充装置,其特征在于:所述单向气压阀(6)固定安装于所述出气管(302)的输出端,且所述单向气压阀(6)的输出口与所述出气管(302)的输出口之间相互连通,所述单向气压阀(6)的输出端安装有输出连接管(601)。

8.根据权利要求1所述的一种MPCVD设备的气体定量填充装置,其特征在于:所述压力盒(1)的一侧开设有测压孔,所述测压孔的内部镶嵌安装有气压传感器(101),所述压力盒(1)的上表面一侧镶嵌安装有蓄电池(102),所述压力盒(1)的上表面另一侧镶嵌安装有控制面板(103)。