1.一种用于MPCVD设备的气体混合装置，其特征在于：包括混合箱(1)、气体定量控制装置(2)、出气管(3)、出气控制阀(4)和支撑柱(5)、所述混合箱(1)顶部开设有固定通孔(8)，所述固定通孔(8)两侧设置有导向通孔(9)，所述气体定量控制装置(2)底部安装在所述固定通孔(8)上，所述气体定量控制装置(2)两侧安装在所述导向通孔(9)内，所述出气管(3)穿设安装在所述混合箱(1)一侧，所述出气管(3)一端位于所述混合箱(1)内，所述出气控制阀(4)安装在所述出气管(3)的另一端，所述支撑柱(5)顶部固定安装在所述混合箱(1)底部。

2.根据权利要求1所述的一种用于MPCVD设备的气体混合装置，其特征在于：所述气体定量控制装置(2)包括安装板(201)、固定架(202)、气体流量传感器(203)、进气管(204)、显示屏(205)、可伸缩式导向柱(206)、密封垫(207)、通气架(208)和进气控制阀(209)，所述密封垫(207)底部安装在所述固定通孔(8)顶部。

3.根据权利要求2所述的一种用于MPCVD设备的气体混合装置，其特征在于：所述安装板(201)底部固定在所述密封垫(207)顶部，所述固定架(202)穿设安装在所述安装板(201)和所述密封垫(207)上，所述气体流量传感器(203)安装在所述固定架(202)内部一侧。

4.根据权利要求3所述的一种用于MPCVD设备的气体混合装置，其特征在于：所述进气管(204)一端穿设安装在所述固定架(202)顶部，所述进气控制阀(209)安装在所述进气管(204)的另一端，所述显示屏(205)安装在所述固定架(202)侧壁上。

5.根据权利要求4所述的一种用于MPCVD设备的气体混合装置，其特征在于：所述可伸缩式导向柱(206)一端安装在所述安装板(201)侧壁上，所述通气架(208)顶部固定在所述固定架(202)底部。

6.根据权利要求1所述的一种用于MPCVD设备的气体混合装置，其特征在于：所述混合箱(1)内部上壁安装有气体完全混合组件(7)，所述混合箱(1)前侧穿设安装有温度控制器(6)，所述气体完全混合组件(7)包括电机(701)、转轴(702)、顶板(703)、加热丝(704)和底板(705)。

7.根据权利要求6所述的一种用于MPCVD设备的气体混合装置，其特征在于：所述电机(701)安装在所述混合箱(1)内部上壁，所述转轴(702)一端转动安装在所述电机(701)的输出端。

8.根据权利要求7所述的一种用于MPCVD设备的气体混合装置，其特征在于：所述顶板(703)侧壁固定在所述转轴(702)一侧，所述加热丝(704)一端安装在所述顶板(703)底部，所述底板(705)顶部固定在所述加热丝(704)的另一端，所述底板(705)侧壁固定在所述转轴(702)一侧。