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专利号: 2023214675346
申请人: 浙江星宇能源科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-12-01
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种硅片清洗机的清刷机构,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)的上方固定连接有传动箱体(15),所述传动箱体(15)的上部设有若干个硅片出入口(13),所述传动箱体(15)一侧固定连接有电机(8),所述传动箱体(15)左侧设有旋转支撑组件,所述传动箱体(15)上方设有平行的清刷盘(7),所述清刷盘(7)一侧固定连接有进气管(14),所述传动箱体(15)右侧设有两个支撑部,所述支撑部上安装有喷液盘(4),所述喷液盘(4)一侧固定连接有清洗液水管(6)。

2.根据权利要求1所述硅片清洗机的清刷机构,其特征在于:所述支撑部包括两个相互平行的支撑柱(2),两个所述支撑柱(2)均通过连接柱(5)与喷液盘(4)固定相连接。

3.根据权利要求1所述硅片清洗机的清刷机构,其特征在于:若干个所述硅片出入口(13)尺寸大小和规则形状完全相同,且分布均匀。

4.根据权利要求1所述硅片清洗机的清刷机构,其特征在于:所述清刷盘(7)底部均匀设有若干个气孔(71)。

5.根据权利要求2所述硅片清洗机的清刷机构,其特征在于:所述旋转支撑组件包括旋转支柱(10),所述旋转支柱(10)固定连接在底板(1)上,两个所述支撑柱(2)均固定连接在底板(1)上。

6.根据权利要求1所述硅片清洗机的清刷机构,其特征在于:所述喷液盘(4)下方均匀固定连接若干个喷液孔(3)。

7.根据权利要求1所述硅片清洗机的清刷机构,其特征在于:所述传动箱体(15)内部设有用于输送硅片的传动组件。