1.一种设有气液增压系统(9)的真空压膜结构,其特征在于:包括依次设置的上动板(1)和下基础板(2),所述上动板(1)上设有上真空框(3),所述下基础板(2)上设有下真空框(4),所述下基础板(2)的下方设有驱动所述上真空框(3)往所述下真空框(4)方向移动的第一油缸(5),所述上真空框(3)内设有上加热组件(6),所述下真空框(4)内设有下加热组件(7),膜材和基板放置于所述上加热组件(6)和下加热组件(7)之间,所述上动板(1)上设有驱动所述上加热板往所述下加热板方向移动的第二油缸(8),所述第一油缸(5)和所述第二油缸(8)均同时连接有一气液增压系统(9);
所述气液增压系统(9)包括增压组件(91),所述增压组件(91)通过一阀体组件(92)分别连接有油箱(931)组件(93)和气路组件(94),所述油箱(931)组件(93)和所述气路组件(94)连接,所述油箱(931)组件(93)通过一管路组件(95)分别与所述第一油缸(5)和所述第二油缸(8)连接,所述管路组件(95)与所述阀体组件(92)相连接。
2.根据权利要求1所述的一种设有气液增压系统(9)的真空压膜结构,其特征在于:所述增压组件(91)包括增压器(911),所述增压器(911)设有油路接口(912)和第一气路接口(913)。
3.根据权利要求2所述的一种设有气液增压系统(9)的真空压膜结构,其特征在于:所述油箱(931)组件(93)包括油箱(931),所述油箱(931)通过一第二气路接口(932)与所述气路组件(94)连接。
4.根据权利要求3所述的一种设有气液增压系统(9)的真空压膜结构,其特征在于:所述气路组件(94)包括气罐(941),所述气罐(941)分别与所述第一气路接口(913)和所述第二气路组件(94)之间均通过一电磁阀(942)进行连接。
5.根据权利要求1所述的一种设有气液增压系统(9)的真空压膜结构,其特征在于:所述阀体组件(92)上还设有压力传感器和对应的压力表。