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专利号: 202321323148X
申请人: 有为半导体技术(广东)有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-12-17
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种真空压膜机,其特征在于:包括依次设置的进板模块(1)、真空压膜模块(2)和出板模块(3),所述进板模块(1)包括进板运输结构(11),所述进板运输结构(11)的上方和下方均设有一第一载膜涨紧结构(12),每一所述第一载膜涨紧结构(12)靠近所述真空压膜模块(2)的一侧设有清洁单元(13);

所述真空压膜模块(2)包括真空机主体装置,所述真空机主体装置设有可相互开合的真空腔体,基板通过所述进板运输结构(11)运输至在所述真空腔体内,载膜通过所述第一载膜涨紧结构(12)和所述清洁单元(13)运输至所述真空腔体与基板进行压合,所述真空腔体连接有加压组件;

所述出板模块(3)包括出板运输结构(31),所述出板运输结构(31)的上方和下方均设有一第二载膜涨紧结构(32),每一所述第二载膜涨紧结构(32)的一侧均设有载膜运输结构(33),载膜从所述第一载膜涨紧结构(12)放卷穿过所述真空腔体,并通过所述载膜运输结构(33)运输至所述第二载膜涨紧结构(32)进行收卷,所述出板运输结构(31)的上方还设有冷却结构(34)。

2.根据权利要求1所述的一种真空压膜机,其特征在于:所述第一载膜涨紧结构(12)和所述第二载膜涨紧结构(32)结构相一致,均包括有气涨轴(121),所述气涨轴(121)内可填充有气体并可根据所填充的气体量来改变其轴径,所述气涨轴(121)上可安装有载膜卷(122),所述气涨轴(121)的另一端可拆卸设有支撑板(123),所述支撑板(123)的一端设有连接轴承,所述气涨轴(121)的另一端穿过所述连接轴承并与所述连接轴承的内圈紧密贴合,所述气涨轴(121)另一端伸出所述连接轴承的部分设有弹性卡簧(124)。

3.根据权利要求1所述的一种真空压膜机,其特征在于:所述清洁单元(13)包括自上而下设置的第一偏心轴(131)和第二偏心轴(132),所述第一偏心轴(131)和所述第二偏心轴(132)分别由一驱动组件驱动偏心旋转,所述第一偏心轴(131)和所述第二偏心轴(132)之间自上而下设有第一清洁纸卷轴(133)和第二清洁纸卷轴(134),所述第一清洁纸卷轴(133)的下方设有副沾尘辊(135),所述第二清洁纸卷轴(134)的上方设有主沾尘辊(136),所述第一清洁纸卷轴(133)和所述副沾尘辊(135)之间、所述第二清洁纸卷轴(134)和所述主沾尘辊(136)之间均连接有一弹簧(137),所述副沾尘辊(135)利用自重始终往所述主沾尘辊(136)的方向下压,载膜从所述副沾尘辊(135)和所述主沾尘辊(136)之间穿过。

4.根据权利要求1所述的一种真空压膜机,其特征在于:所述真空机主体装置包括次设置的上动板(21)和下基础板(22),所述上动板(21)上设有上真空框(23),所述下基础板(22)上设有下真空框(24),所述上真空框(23)和所述下真空框(24)组合成所述真空腔体,所述上动板(21)连接有可驱动所述上动板(21)往所述下基础板(22)方向移动的第一油缸(25),所述上真空框(23)内设有上加热组件(26),所述下真空框(24)内设有下加热组件(27),膜材和基板放置于所述上加热组件(26)和下加热组件(27)之间进行压合。

5.根据权利要求4所述的一种真空压膜机,其特征在于:所述加压组件包括作用于所述上加热组件(26)的第二油缸(28),使得所述上加热组件(26)往所述下加热组件(27)的方向移动,所述第二油缸(28)上还设有位移传感器。

6.根据权利要求1所述的一种真空压膜机,其特征在于:所述载膜运输结构(33)包括上载膜运输辊(331)和下载膜运输辊(332),所述上载膜运输辊(331)和所述下载膜运输辊(332)通过一同步皮带(333)进行连接,所述上载膜运输辊(331)的下方设有可竖直移动的第一压载膜辊(334),所述下载膜运输辊(332)的下方设有可水平移动的第二压载膜辊(335),载膜依次在所述上载膜运输辊(331)、所述第一压载膜辊(334)、所述下载膜运输辊(332)和第二压载膜辊(335)之间交叉环绕。

7.根据权利要求1所述的一种真空压膜机,其特征在于:所述冷却结构(34)包括若干个冷风机(341)。