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专利号: 2023207918574
申请人: 苏州港麟微电子有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-11-04
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种硅片湿法自动分片装置,包括壳体(100),其特征在于:所述壳体(100)的侧壁设有两组导轨(101),两组所述导轨(101)的外壁滑动连接有移门(102),所述移门(102)的外壁设有观察窗(103),所述壳体(100)的内壁底端设有分片喷头(104);所述壳体(100)的内壁底端设有固定机构(200)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片湿法自动分片装置,其特征在于:所述固定机构(200)包括放置台(201),所述放置台(201)的内壁转动连接有齿盘(202),所述齿盘(202)的顶端开设有多组弧形槽(203),多组所述弧形槽(203)的内壁滑动连接有限位柱(204),所述放置台(201)的顶端开设有与弧形槽(203)相对应的多组滑槽(205),且多组限位柱(204)与多组滑槽(205)滑动连接,所述放置台(201)的侧壁设有控制盒(206),所述控制盒(206)的外壁转动连接有转把(207),所述转把(207)的一端延伸至控制盒(206)的内壁,所述转把(207)延伸至控制盒(206)内壁的一端设有限位齿轮(208),所述限位齿轮(208)的侧壁设有矩形块(209),所述矩形块(209)的外壁滑动连接有转轴(210)。

3.根据权利要求2所述的一种硅片湿法自动分片装置,其特征在于:所述转轴(210)的一端延伸至放置台(201)的内部,且转轴(210)的外壁与放置台(201)的内壁转动连接,所述转轴(210)延伸至放置台(201)内部的一端设有冠状齿轮(212)。

4.根据权利要求3所述的一种硅片湿法自动分片装置,其特征在于:所述放置台(201)内壁的底端转动连接有齿柱(213),且齿柱(213)与齿盘(202)啮合,所述冠状齿轮(212)与齿柱(213)啮合。

5.根据权利要求3所述的一种硅片湿法自动分片装置,其特征在于:所述转轴(210)的侧壁开设有矩形槽(214),所述转轴(210)通过矩形槽(214)与矩形块(209)滑动连接,所述控制盒(206)的内壁设有两组齿块(215),且两组齿块(215)可与限位齿轮(208)啮合。

6.根据权利要求1所述的一种硅片湿法自动分片装置,其特征在于:所述分片喷头(104)的侧壁设有多组孔洞。

7.根据权利要求1所述的一种硅片湿法自动分片装置,其特征在于:所述壳体(100)的侧壁设有负磁条,所述移门(102)的侧壁设有正磁条。