1.硅片自动测试设备,包括电阻率测试仪主机(1)和阻率测试仪主机(1)电性连接的四探针探头(2),其特征在于:还包括控制组件、放置板(3)、固定安装在放置板(3)上的护栏组件以及设置在护栏组件上的升降机构;
所述升降机构包括设置在护栏组件上的传动组件以及与传动组件螺纹连接的安装组件,所述四探针探头(2)固定安装在安装上。
2.根据权利要求1所述的硅片自动测试设备,其特征在于:所述护栏组件包括条形板(4)和方形柱(6),所述条形板(4)固定安装在放置板(3)的一侧中部上,所述方形柱(6)对称固定安装在放置板(3)远离条形板(4)的一侧两端上,所述条形板(4)的两侧对称固定安装有直角网板(5),且两组直角网板(5)远离条形板(4)的一端分别与对应位置方形柱(6)固定连接。
3.根据权利要求2所述的硅片自动测试设备,其特征在于:两组所述方形柱(6)靠近放置板(3)中心的一侧分别固定安装有红外线传送器(7)和红外线接收器(8),所述红外线传送器(7)和红外线接收器(8)与控制组件电性连接,所述条形板(4)上连通设置有方形孔(15)。
4.根据权利要求3所述的硅片自动测试设备,其特征在于:所述控制组件包括控制器(10),所述控制器(10)固定安装在条形板(4)靠近方形柱(6)的一侧下部上,所述控制器(10)与红外线传送器(7)、红外线接收器(8)和传动组件电性连接,所述控制器(10)电性连接有控制开关(9)和距离传感器(16),所述距离传感器(16)固定安装在安装组件上,所述控制开关(9)固定安装在电阻率测试仪主机(1)的顶部靠近红外线传送器(7)的一侧上。
5.根据权利要求4所述的硅片自动测试设备,其特征在于:所述传动组件包括丝杆(13)和电机(14),所述丝杆(13)转动安装在方形孔(15)内,所述丝杆(13)的顶端与电机(14)的输出端固定连接,所述电机(14)的壳体固定安装在条形板(4)的顶端上,所述电机(14)与控制器(10)电性连接,所述丝杆(13)与安装组件螺纹连接。
6.根据权利要求5所述的硅片自动测试设备,其特征在于:所述安装组件包括套环(11),所述套环(11)固定套设在的中部上,所述套环(11)靠近条形板(4)的一侧固定安装有横板(12),所述横板(12)远离条形板(4)的一端与丝杆(13)螺纹连接。
7.根据权利要求6所述的硅片自动测试设备,其特征在于:所述横板(12)远离套环(11)的一端侧边与方形孔(15)的内壁贴合,所述横板(12)靠近套环(11)的一端底部固定安装距离传感器(16)。