1.一种芯片裸片加工机械手,其特征在于,包括:
手板(1),手板(1)边缘延伸两个指板(11),指板(11)与手板(1)平面支撑裸片;
第一气路(5),所述手板(1)、指板(11)内部开设第一气路(5),第一气路(5)连接外部气源;
卷指组件(2),所述手板(1)端部与指板(11)端部设置三个卷指组件(2),裸片置于三个卷指组件(2)之间,卷指组件(2)包括柔性板(21),柔性板(21)内部设置有涡卷条(23),涡卷条(23)与柔性板(21)一体收卷,用于挤压裸片的边缘,柔性板(21)内部开设贯通第一气路(5)的气槽(22),气槽(22)内通气膨胀使柔性板(21)克服涡卷条(23)的弹力展开。
2.根据权利要求1所述的芯片裸片加工机械手,其特征在于,三个所述卷指组件(2)的收卷方向对齐所述手板(1)、指板(11)的中心点位置。
3.根据权利要求1所述的芯片裸片加工机械手,其特征在于,所述柔性板(21)向着收卷端的方向厚度逐渐减小。
4.根据权利要求1所述的芯片裸片加工机械手,其特征在于,所述柔性板(21)内部平行设置两条涡卷条(23),两条涡卷条(23)对称分布在气槽(22)的两侧。
5.根据权利要求1所述的芯片裸片加工机械手,其特征在于,所述手板(1)、指板(11)表面设置三个支撑组件(3),支撑组件(3)包括气腔(33),气腔(33)内通过弹簧弹性滑动有活塞片(34),活塞片(34)表面固定有顶柱(32),顶柱(32)滑动穿出手板(1)、指板(11)的表面,所述第一气路(5)贯通气腔(33)。
6.根据权利要求5所述的芯片裸片加工机械手,其特征在于,所述顶柱(32)的端部固定有球面盖(31),所述指板(11)、手板(1)表面具有下沉隐藏球面盖(31)的容纳腔(35)。
7.根据权利要求5所述的芯片裸片加工机械手,其特征在于,所述手板(1)、指板(11)内部开设负压腔(41),负压腔(41)通过负压吸口(4)贯通手板(1)、指板(11)的表面,手板(1)、指板(11)内部开始第二气路(6),负压腔(41)贯通第二气路(6)。
8.根据权利要求7所述的芯片裸片加工机械手,其特征在于,所述负压腔(41)位于气腔(33)的外侧,所述负压吸口(4)围绕负压腔(41)环形分布。