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专利号: 2023111703692
申请人: 燕山大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种DS连轧制备钽靶坯的方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤a、对钽铸锭进行反复的径向和轴向热锻,锻造过程中进行中间退火,得到长方形钽板;

步骤b、对长方形钽板进行DS连轧,得到钽靶坯坯料;

步骤c、对钽靶坯坯料进行板带校平,然后进行真空热处理,得到钽靶坯;

步骤b中的DS连轧包括4道次DS轧制和至少一道次同步轧制,DS连轧过程总变形量为

45%‑90%;

第1道次和第3道次DS轧制中的小直径工作辊和大直径工作辊均分别位于长方形钽板的上方和下方,第2道次和第4道次DS轧制中的大直径工作辊和小直径工作辊均分别位于长方形钽板的上方和下方,第1‑4道次DS轧制中的小直径工作辊均位于大直径工作辊后方且垂直方向水平错位距离分别为S1‑S4,其中,S1的范围为40‑50mm,S2的范围为30‑40mm,S3的范围为20‑30mm,S4的范围为10‑

20mm,

大直径工作辊和小直径工作辊的直径比为k,1

钽靶坯坯料的上表面至下表面均为{101}、{111}和{100}取向的晶粒交替分布;

钽靶坯坯料中心层{111}织构占比为30%‑35%,{100}织构占比为25%‑30%;

真空热处理包括如下步骤:从室温开始升温,升温速度为10℃/min;预退火温度为500℃,保温时间为10‑20min;退火温度为1000℃,保温时间为25‑35min;随炉冷却至室温;

经真空热处理后的钽靶坯的平均晶粒尺寸为40‑45μm。

2.根据权利要求1所述的DS连轧制备钽靶坯的方法,其特征在于,步骤a中的中间退火处理温度为1000‑1100℃。

3.根据权利要求1所述的DS连轧制备钽靶坯的方法,其特征在于,在步骤a中钽铸锭的纯度不低于99.995%,长方形钽板的宽度不低于45.72cm。

4.根据权利要求1‑3任一项所述的DS连轧制备钽靶坯的方法,其特征在于,在步骤c中,对校平后的钽靶坯坯料冲压出圆形钽靶坯,然后对圆形钽靶坯进行真空热处理。