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专利号: 2023105099968
申请人: 杭州电子科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-11-04
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.基于导模共振原理的偏振无关超窄带高透射滤光片,从下到上包括衬底、波导层、缓冲层、和金属光栅,其特征在于:在衬底与波导层中间设置有第一介质层,在金属光栅上方依次设置有第二介质层和第三介质层;其中第一介质层的折射率介于波导层折射率和衬底折射率之间;第二介质层的折射率为1,厚度为65nm~120nm;第三介质层的材料为二氧化硅,厚度为70nm~100nm;

所述金属光栅为周期性分布的纳米线阵列,纳米线的横截面为圆形或正方形。

2.如权利要求1所述基于导模共振原理的偏振无关超窄带高透射滤光片,其特征在于:所述第一介质层的材料为氧化铝,厚度为20nm~50nm。

3.如权利要求1所述基于导模共振原理的偏振无关超窄带高透射滤光片,其特征在于:所述金属光栅的材料为银或铝,厚度为45nm,周期为270nm~500nm,占空比为0.8~0.85。

4.如权利要求1或3所述基于导模共振原理的偏振无关超窄带高透射滤光片,其特征在于:增大金属光栅的周期,使滤光片的中心波长增大。

5.如权利要求1所述基于导模共振原理的偏振无关超窄带高透射滤光片,其特征在于:所述衬底的材料为石英。

6.如权利要求1所述基于导模共振原理的偏振无关超窄带高透射滤光片,其特征在于:所述波导层的折射率高于第一介质层与缓冲层的折射率。

7.如权利要求1或6所述基于导模共振原理的偏振无关超窄带高透射滤光片,其特征在于:波导层材料为氮化硅,厚度为100nm~135nm。

8.如权利要求1或6所述基于导模共振原理的偏振无关超窄带高透射滤光片,其特征在于:缓冲层的材料为氟化镁,厚度为130nm~250nm。