1.一种碳化硅MOS,包括N型漂移层(200),其特征在于:所述N型漂移层(200)底部连接绝缘层(100),所述N型漂移层(200)顶部设有源极和漏极,所述源极处设有P+基底(300)和N+区(400),所述漏极处设有N+区(400),所述N型漂移层(200)顶部还设有栅极(500)。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅MOS,其特征在于:所述栅极(500)和N型漂移层(200)之间设有氧化层(600),所述氧化层(600)和栅极(500)设置在源极靠近漏极的一侧。
3.根据权利要求1所述的一种碳化硅MOS,其特征在于:所述N+区(400)和N型漂移层(200)可组成U型结构。
4.根据权利要求1所述的一种碳化硅MOS,其特征在于:所述源极至漏极的导通通道经过N型漂移层(200)。
5.根据权利要求1所述的一种碳化硅MOS,其特征在于:所述N型漂移层(200)通过离子布置达成。
6.根据权利要求1所述的一种碳化硅MOS,其特征在于:所述P+基底(300)和N+区(400)位于N型漂移层(200)蚀刻成的凹槽中。