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专利号: 202222153984X
申请人: 深圳市速博精微科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-08-30
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种多件半导体零件精密加装装置,包括固定座(1),其特征在于,所述固定座(1)的内壁固定连接有第一电动推杆(2),所述第一电动推杆(2)的顶端固定套接有固定架(3),所述固定架(3)的内壁固定连接有伺服电机(4),所述伺服电机(4)的输出端固定连接有空心圆板(5),所述空心圆板(5)的上表面开设有安装孔,且安装孔的孔壁固定连接有第一密封轴承(6),所述第一密封轴承(6)的内壁固定连接有第一导管(7),所述第一导管(7)的外壁固定套接有第二密封轴承(8),所述第一密封轴承(6)和第二密封轴承(8)的外壁共同固定套接有进气接头(10),所述第一导管(7)的外壁开设有进气孔(14),所述空心圆板(5)的下表面固定连接有多个半导体夹持机构(9)。

2.根据权利要求1所述的一种多件半导体零件精密加装装置,其特征在于,所述半导体夹持机构(9)包括两个与空心圆板(5)下表面固定连接的轴承座(91),所述轴承座(91)的内壁固定连接有丝杆(92),所述丝杆(92)的杆壁螺纹连接有螺母(93),所述螺母(93)的下表面固定连接有气动柔性夹爪(94),所述气动柔性夹爪(94)的进气口和出气口均固定连通有第二导管(95),所述第二导管(95)的顶端穿过空心圆板(5)的底端,所述第二导管(95)的顶端固定连接有电磁阀(96),所述电磁阀(96)的外壁与空心圆板(5)的内壁固定连接,多个所述丝杆(92)的内侧壁均固定连接有斜齿轮(97),所述空心圆板(5)的下表面通过滚动轴承固定连接有斜齿环(98),所述斜齿环(98)的外壁与多个斜齿轮(97)的外壁垂直啮合。

3.根据权利要求2所述的一种多件半导体零件精密加装装置,其特征在于,其中一个所述轴承座(91)的外壁固定连接有第二电动推杆(11),所述第二电动推杆(11)的侧端与相邻斜齿轮(97)的外壁接触。

4.根据权利要求2所述的一种多件半导体零件精密加装装置,其特征在于,所述螺母(93)的上表面固定连接有限位块(12),所述空心圆板(5)的下表面开设有与限位块(12)相配合的滑槽。

5.根据权利要求1所述的一种多件半导体零件精密加装装置,其特征在于,所述第一导管(7)的顶端内壁固定连接有导电滑环(13)。

6.根据权利要求1所述的一种多件半导体零件精密加装装置,其特征在于,所述第一导管(7)的中心位置与伺服电机(4)输出端的中心位置处于同一竖直轴线上。