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专利号: 2022220761876
申请人: 扬州伟业创新科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-05-14
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种大尺寸硅片插片机分片装置,包括水箱(1),其特征在于:所述水箱(1)顶部设有放置座(8),所述水箱(1)顶部设有安装架(14),所述安装架(14)内左右侧壁均设有喷水机构(2),所述安装架(14)顶部设有液压缸(7),所述液压缸(7)输出端连接设有液压杆(6),所述液压杆(6)一端贯穿安装架(14)顶部与安装架(14)内设有的固定板(5)相连接,所述固定板(5)内开设有空腔(12),所述空腔(12)内设有移动机构(13),所述固定板(5)底部滑动连接设有的安装板(4),所述安装板(4)底部设有四组吸盘(3)。

2.根据权利要求1所述的一种大尺寸硅片插片机分片装置,其特征在于:所述喷水机构(2)包括安装架(14)内右侧壁开设有的滑槽(26),所述滑槽(26)内顶部设有电动伸缩杆(25),所述电动伸缩杆(25)一端连接设有滑块(24),所述滑块(24)左侧壁设有喷水板(23),所述喷水板(23)左侧壁设有多组喷嘴(22),所述水箱(1)内底部设有水泵(20),所述水泵(20)出水端连接设有输水管(21),所述输水管(21)一端与喷水板(23)内部相连通。

3.根据权利要求2所述的一种大尺寸硅片插片机分片装置,其特征在于:多组所述喷嘴(22)在所述喷水板(23)左侧壁纵向呈线性阵列分布。

4.根据权利要求2所述的一种大尺寸硅片插片机分片装置,其特征在于:所述滑槽(26)内右侧壁开设有限位槽,所述滑块(24)右侧壁设有与限位槽相匹配的限位块。

5.根据权利要求1所述的一种大尺寸硅片插片机分片装置,其特征在于:所述移动机构(13)包括空腔(12)内左侧壁通过轴承连接设有的丝杆(134),所述固定板(5)右侧壁设有电机(135),所述电机(135)输出端贯穿固定板(5)右侧壁与丝杆(134)一端相连接,所述丝杆(134)外壁套接设有滑动块(131),所述滑动块(131)底部设有安装杆(132),所述安装杆(132)底部与安装板(4)顶部相连接。

6.根据权利要求5所述的一种大尺寸硅片插片机分片装置,其特征在于:所述空腔(12)内顶部开设有导向槽(133),所述滑动块(131)顶部设有与导向槽(133)相匹配的导向块(130)。

7.根据权利要求5所述的一种大尺寸硅片插片机分片装置,其特征在于:所述固定板(5)底部开设有滑槽一,所述安装杆(132)与滑槽一滑动连接。

8.根据权利要求1所述的一种大尺寸硅片插片机分片装置,其特征在于:所述水箱(1)顶部开均匀开设有透水口(9),所述水箱(1)内设有两组过滤网(11),两组所述过滤网(11)从上到下滤孔依次减小。

9.根据权利要求1所述的一种大尺寸硅片插片机分片装置,其特征在于:所述水箱(1)顶部设有挡水框架(10),所述挡水框架(10)呈矩形状设置。