1.一种适用于大尺寸硅片称重装置,包括电子秤(1),其特征在于:所述电子秤(1)的上侧安装有固定板(3),所述固定板(3)的底部四角处均通过连接块(2)和电子秤(1)的顶部固定连接;
所述固定板(3)的顶部四侧均安装有支杆(4),所述固定板(3)的四侧壁均插接有丝杆(5),所述固定板(3)的表面四侧均开设有限位滑槽(7),所述丝杆(5)贯穿固定板(3)侧壁且插接于轴承(10)的内腔,所述丝杆(5)的外壁和轴承(10)的内壁固定连接,所述轴承(10)固定安装与限位滑槽(7)的内壁,所述丝杆(5)的外壁套装有丝杆滑块(8),所述丝杆滑块(8)插接于限位滑槽(7)内,四组所述丝杆滑块(8)分别和四组所述支杆(4)固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片称重装置,其特征在于:所述固定板(3)的顶部靠近所述限位滑槽(7)处开设有刻度线(9)。
3.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片称重装置,其特征在于:所述固定板(3)侧壁对应所述丝杆(5)处开设有通孔。
4.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片称重装置,其特征在于:所述支杆(4)的顶部固定安装有橡胶垫(11)。
5.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片称重装置,其特征在于:所述电子秤(1)的底部四角处均固定安装有橡胶支脚(6)。