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专利号: 2022220148603
申请人: 成都沄涛科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-11-28
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种用于半导体切割的干燥装置,其特征在于:包括装置本体(1)、固定装置(2)、输气装置(3)和调节装置(4),所述装置本体(1)底部对称设有固定装置(2),所述固定装置(2)包括支撑块(21)、限位槽(22)、固定块(23)、限位孔(24)、固定螺栓(25)和安装板(26),所述限位槽(22)内设有输气装置(3),所述输气装置(3)包括输气管31、进气口(32)和导气孔(33),所述导气孔(33)顶部设有调节装置(4),所述调节装置(4)包括螺纹连接口(41)、导气管(42)、调节阀(43)、出气口(44)和通孔(45)。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体切割的干燥装置,其特征在于:所述装置本体(1)底部两侧对称设有支撑块(21),所述支撑块(21)顶部开设有限位槽(22),所述支撑块(21)外壁两侧对称固定安装有固定块(23),所述固定块(23)顶部开设有限位孔(24)。

3.根据权利要求2所述的一种用于半导体切割的干燥装置,其特征在于:所述限位孔(24)贯穿固定块(23),所述限位孔(24)内螺纹连接有固定螺栓(25),所述固定螺栓(25)贯穿限位孔(24),所述支撑块(21)外壁焊接有安装板(26)。

4.根据权利要求2所述的一种用于半导体切割的干燥装置,其特征在于:所述限位槽(22)内设有输气管31,所述输气管31一侧开设有进气口(32),所述输气管31顶部开设有导气孔(33),所述导气孔(33)横向开设。

5.根据权利要求4所述的一种用于半导体切割的干燥装置,其特征在于:所述导气孔(33)内螺纹连接有螺纹连接口(41),所述螺纹连接口(41)内螺纹连接有导气管(42),所述导气管(42)外壁设有调节阀(43),所述导气管(42)顶部焊接有出气口(44),所述出气口(44)外壁开设有通孔(45)。