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专利号: 2022218543619
申请人: 武汉固瑞得科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-07-01
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种表面电荷自动测量机,其包括示波器(1)、静电电位计(2)和载板(3),其中,示波器(1)放置在静电电位计(2)的左侧;

载板(3)放置在静电电位计(2)的右侧;

其特征在于:还包括直线位移机构(4)、放电机构(5)、十字滑台(6)、调节座(7)、检测头(8)、支撑台(9)、测量电极(10)和接地电极(11),其中,直线位移机构(4)固定在载板(3)上;

放电机构(5)位于直线位移机构(4)的一侧,且放电机构(5)与载板(3)固定连接;

十字滑台(6)位于直线位移机构(4)的左端,且十字滑台(6)与载板(3)固定连接;

调节座(7)固定在十字滑台(6)上;

检测头(8)可拆卸的安装在调节座(7)上,且检测头(8)与静电电位计(2)电连接;

支撑台(9)固定在直线位移机构(4)上;

测量电极(10)可拆卸的安装在支撑台(9)上,且测量电极(10)与示波器(1)电连接;

接地电极(11)固定在支撑台(9)上。

2.如权利要求1所述的表面电荷自动测量机,其特征在于:所述直线位移机构(4)包括滑轨(401)、滑座(402)和支撑板(403),其中,滑轨(401)固定在载板(3)上;

滑座(402)与滑轨(401)通过滑动方式相连接;

支撑板(403)固定在滑座(402)上,支撑台(9)固定在支撑板(403)上。

3.如权利要求1所述的表面电荷自动测量机,其特征在于:所述放电机构(5)包括底板(501)、支撑杆(502)、第一抱箍(503)、第二抱箍(504)、第一横板(505)、第二横板(506)、高压电极(507)和保护电极(508),其中,底板(501)位于直线位移机构(4)的一侧,且底板(501)与载板(3)固定连接;

支撑杆(502)固定在底板(501)上;

第一抱箍(503)和第二抱箍(504)均固定在支撑杆(502)上,第一抱箍(503)位于第二抱箍(504)的上侧;

第一横板(505)通过螺栓与第一抱箍(503)固定连接;

第二横板(506)通过螺栓与第二抱箍(504)固定连接;

高压电极(507)通过螺栓与第一横板(505)固定连接;

保护电极(508)通过螺栓与第二横板(506)固定连接。

4.如权利要求1所述的表面电荷自动测量机,其特征在于:所述十字滑台(6)为伺服丝杆移动平台,驱动机构为伺服电机,移动执行机构为丝杆螺母座。

5.如权利要求1所述的表面电荷自动测量机,其特征在于:所述调节座(7)包括直线导轨座(701)、滑板(702)、L型板(703)、千分尺(704)和连接板(705),其中,直线导轨座(701)固定在十字滑台(6)上;

滑板(702)与直线导轨座(701)通过滑动方式相连接;

L型板(703)固定在滑板(702)上;

千分尺(704)包括尺体(7041)和推杆(7042),尺体(7041)固定在L型板(703)上,推杆(7042)的底端抵持在直线导轨座(701)的顶面上;

连接板(705)通过螺栓固定在滑板(702)上,检测头(8)可拆卸的安装在连接板(705)上。

6.如权利要求5所述的表面电荷自动测量机,其特征在于:还包括固定块(12),所述固定块(12)通过螺栓固定在连接板(705)上,固定块(12)朝向连接板(705)的一侧设置有第一凹槽(1201),连接板(705)朝向固定块(12)的一侧设置有第二凹槽(7051),检测头(8)夹持在第一凹槽(1201)和第二凹槽(7051)内。

7.如权利要求1所述的表面电荷自动测量机,其特征在于:所述支撑台(9)包括两个台柱(901),台柱(901)固定在直线位移机构(4)上,台柱(901)的顶面呈三级阶梯状结构,两个台柱(901)朝向对方的一侧阶梯面高度最低;

测量电极(10)可拆卸的安装在台柱(901)最高高度的阶梯面上;

接地电极(11)固定在台柱(901)最低高度的阶梯面上。

8.如权利要求7所述的表面电荷自动测量机,其特征在于:还包括内六角沉头螺栓(13),所述内六角沉头螺栓(13)贯穿测量电极(10)并连接至台柱(901)最高高度的阶梯面上进行固定。

9.如权利要求2所述的表面电荷自动测量机,其特征在于:还包括两个限位夹具(14)和两个限位板(15),其中,限位夹具(14)包括支架(1401)和连杆夹具(1402),支架(1401)位于滑轨(401)的外侧,且支架(1401)与载板(3)固定连接,连杆夹具(1402)固定在支架(1401)上;

限位板(15)位于滑轨(401)的内侧,且限位板(15)与载板(3)固定连接。

10.如权利要求1所述的表面电荷自动测量机,其特征在于:还包括减震支座(16),所述减震支座(16)在载板(3)底部四角均设置有一个。