利索能及
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专利号: 2022218495263
申请人: 广州市鸿浩光电半导体有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-10-10
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种沉积高温氧化物的低压化学沉积设备,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)的顶部靠近一侧边缘处固定有存储箱(2),所述底板(1)的顶部靠近另一侧边缘处固定有蒸发箱(3),所述底板(1)的顶部位于存储箱(2)的一侧和蒸发箱(3)的一侧之间固定有反应器本体(4),所述反应器本体(4)的顶部固定有沉积盒(5),所述沉积盒(5)的一侧中心处焊接有固定块(16),所述固定块(16)的一侧中心处开设有凹槽(18),所述凹槽(18)的内部底面固定有两个弹簧(17),两个所述弹簧(17)的一端之间固定有活动块(19),所述活动块(19)位于凹槽(18)的内部之间,所述凹槽(18)的内部滑动连接有对接块(20),所述对接块(20)的一侧外壁与活动块(19)的一侧外壁相贴合。

2.根据权利要求1所述的一种沉积高温氧化物的低压化学沉积设备,其特征在于:所述沉积盒(5)的内壁之间靠近顶部滑动连接有顶盖(7),所述蒸发箱(3)的前表面靠近一侧边缘处通过铰链转动连接有侧板(14)。

3.根据权利要求1所述的一种沉积高温氧化物的低压化学沉积设备,其特征在于:所述蒸发箱(3)的顶部中心处固定有底座(6),所述底座(6)的顶部中心处固定有连接管(8)。

4.根据权利要求3所述的一种沉积高温氧化物的低压化学沉积设备,其特征在于:所述连接管(8)贯穿至蒸发箱(3)的内部,所述连接管(8)的顶部固定有过滤器(9)。

5.根据权利要求4所述的一种沉积高温氧化物的低压化学沉积设备,其特征在于:所述过滤器(9)的外表面沿圆周方向等开设有多个滤孔(10),所述沉积盒(5)的顶部靠近一个拐角处固定有立柱(11),所述立柱(11)的顶部固定有显示灯(12)。

6.根据权利要求1所述的一种沉积高温氧化物的低压化学沉积设备,其特征在于:所述底板(1)的底部靠近四个拐角处均固定有万向轮(13),所述反应器本体(4)的前表面靠近两侧边缘处均固定有防撞橡胶板(15)。