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专利号: 2022211478958
申请人: 苏州特斯特半导体设备有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-04-10
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种用于划片机工作台的驱动机构,包括设于划片机底座(1)、并用于提供水平方向移动的驱动机构(2),其特征在于,所述驱动机构(2)包括:设于划片机底座(1)上表面的基座(3),所述基座(3)的上表面开设有纵向的凹槽(4);

纵向设于所述基座(3)上表面两侧、并用于提供水平移动导向的直线导轨(5);

设于所述直线导轨(5)上方、并用于在所述直线导轨(5)上方直线移动的工作台(6),所述工作台(6)的底部设置有与所述直线导轨(5)滑动连接的滑台(7);

设于所述工作台(6)底部一侧的光栅读数头(8),所述光栅读数头(8)与所述基座(3)一侧设置的光栅标尺(9)连接;以及,设于所述凹槽(4)、并用于驱动所述工作台(6)在所述基座(3)进行纵向移动的驱动组件(10)。

2.根据权利要求1所述的一种用于划片机工作台的驱动机构,其特征在于,所述驱动组件(10)包括:纵向设于所述凹槽(4)内的滚珠丝杆(101);

设于所述滚珠丝杆(101)一端、并用于支撑所述滚珠丝杆(101)的轴承支撑座(102);

设于所述滚珠丝杆(101)另一端、并用于提供驱动力的电机(103),所述电机(103)通过联轴器与所述滚珠丝杆(101)连接;以及,设于所述滚珠丝杆(101)、并与所述工作台(6)连接的丝杆螺母。

3.根据权利要求1所述的一种用于划片机工作台的驱动机构,其特征在于,所述工作台(6)的底部两侧设置有连接块(11),所述连接块(11)位于所述工作台(6)移动方向的两侧设置有缓冲器(12),所述缓冲器(12)与所述基座(3)纵向两侧设置的限位块(13)连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于划片机工作台的驱动机构,其特征在于,所述基座(3)背离所述光栅标尺(9)的一侧设置有型材(14),所述型材(14)上开设有滑槽(141),所述滑槽(141)内安装有固定感应开关的滑块(142)。

5.根据权利要求1所述的一种用于划片机工作台的驱动机构,其特征在于,所述基座(3)上还设置有与所述工作台(6)连接的风琴防护罩(15)。