1.一种感应等离子体源的保护装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的顶部固定连接有外壳(2)，所述外壳(2)远离箱体(1)的一侧通过铰链转动连接有盖板(3)，所述外壳(2)的内部固定安装有设备本体(4)，所述盖板(3)的正表面固定连接有连接块(5)，所述连接块(5)的左侧通过转轴转动连接有扣板(6)，所述扣板(6)的后表面设置有子磁铁块(7)，所述外壳(2)的正表面设置有母磁铁块(8)，所述外壳(2)靠近母磁铁块(8)的一侧固定连接有扣块(9)，所述箱体(1)远离外壳(2)的一侧固定连接有支撑杆(10)，所述外壳(2)的内壁固定连接有固定块(11)，所述固定块(11)远离外壳(2)的一侧活动连接有固定板(12)，所述设备本体(4)的底部固定连接有安装板(13)，所述外壳(2)靠近安装板(13)的一侧固定连接有定位块(14)，所述固定板(12)靠近固定块(11)的一侧通过轴承活动连接有连接杆(15)，所述连接杆(15)的外表面套接有弹簧(16)，所述连接杆(15)远离固定板(12)的一端固定连接有限位板(17)，所述固定板(12)靠近固定块(11)的一侧固定连接有卡块(18)。

2.根据权利要求1所述的一种感应等离子体源的保护装置，其特征在于：所述扣板(6)的后表面与外壳(2)的正表面相接触，且扣板(6)的后表面开设有与扣块(9)相适配的扣孔。

3.根据权利要求1所述的一种感应等离子体源的保护装置，其特征在于：所述子磁铁块(7)与母磁铁块(8)的异磁极相对。

4.根据权利要求1所述的一种感应等离子体源的保护装置，其特征在于：所述安装板(13)的远离设备本体(4)的一侧与外壳(2)内壁的底面相接触，且安装板(13)的底部开设有与定位块(14)相适配的定位孔。

5.根据权利要求1所述的一种感应等离子体源的保护装置，其特征在于：所述连接杆(15)远离固定板(12)的一端滑动贯穿固定块(11)的顶部，所述固定块(11)的内部开设有与限位板(17)相适配的限位槽，所述弹簧(16)的顶端焊接在限位槽内壁的顶面，且弹簧(16)的底端焊接在限位板(17)的顶部。

6.根据权利要求1所述的一种感应等离子体源的保护装置，其特征在于：所述卡块(18)远离固定板(12)的一端滑动贯穿安装板(13)的顶部。