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专利号: 2022116753528
申请人: 齐鲁工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-12-30
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种二维微定位平台,包括输出平台,输出平台与相互垂直设置且设置在支座的第一驱动机构和第二驱动机构连接,其特征在于,所述第一驱动机构和第二驱动机构均包括驱动器,驱动器与位移放大机构连接,位移放大机构与恒力机构连接,恒力机构通过柔性板簧与输出平台连接,所述恒力机构包括多个刚性块,相邻刚性块之间设置有多个连接梁,位于中部的刚性块与柔性板簧连接,其中连接梁包括刚性体,刚性体两侧均设有柔性折叠梁,柔性折叠梁一端与刚性体连接,另一端与刚性块连接。

2.如权利要求1所述的一种二维微定位平台,其特征在于,位于恒力机构两个端部的刚性块与支座固定连接。

3.如权利要求1所述的一种二维微定位平台,其特征在于,所述柔性折叠梁包括第一梁部,第一梁部一端与刚性块连接,另一端折弯180°后于第二梁部的一端连接,第二梁部的另一端折弯180°后于第三梁部的一端连接,第三梁部的另一端与刚性体连接。

4.如权利要求1所述的一种二维微定位平台,其特征在于,所述位移放大机构的输出端与恒力机构的中部的刚性块之间设有力检测元件。

5.如权利要求1所述的一种二维微定位平台,其特征在于,所述位移放大机构包括桥式放大机构,驱动器的两端均连接有桥式放大机构,桥式放大机构的中部与驱动器连接,端部与支座固定,桥式放大机构的同侧端部均与柔性铰链组件的一端连接,其中一端的柔性铰链组件的另一端通过刚性件与恒力机构连接,另一侧的柔性铰链组件通过刚性件与支座连接。

6.如权利要求1所述的一种二维微定位平台,其特征在于,所述柔性铰链组件包括至少两个平行设置的柔性铰链,柔性铰链一端与桥式放大机构连接,另一端通过刚性块与恒力机构连接。

7.如权利要求6所述的一种二维微定位平台,其特征在于,所述柔性铰链采用V型柔性铰链。

8.如权利要求1所述的一种二维微定位平台,其特征在于,所述驱动器采用压电陶瓷驱动器。

9.如权利要求1所述的一种二维微定位平台,其特征在于,所述输出平台和支座之间设有位移检测元件,第一驱动机构和第二驱动机构均对应设置位移检测元件,用于检测输出平台的位移。

10.如权利要求9所述的一种二维微定位平台,其特征在于,所述位移检测元件包括固定在支座上的激光位移传感器和位于输出平台上的与激光位移传感器配合使用的光栅。