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专利号: 2022115078535
申请人: 南京信息工程大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-12-30
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种纯镁表面的多层致密复合膜,以纯镁为基体,其特征在于,所述多层致密复合膜由金属氧化物膜和钽膜组成,金属氧化膜用于诱导和促进钽膜生长,提升复合膜与纯镁基体之间的结合强度。

2.根据权利要求1所述的纯镁表面的多层致密复合膜,其特征在于,所述金属氧化物为二氧化钛。

3.一种权利要求1所述的纯镁表面的多层致密复合膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)将清洗后的纯镁置于磁控溅射炉内的载物台上,安装靶材,靶材为金属氧化物靶和钽靶,然后开始抽真空至高真空状态,再通入氩气调节气压,对纯镁进行预溅射;

(2)预溅射结束后,打开射频电源和氧化物靶的挡板,调整射频功率至100‑300W,溅射氧化物,溅射完成后,关闭射频电源和电源氧化物靶的挡板;

(3)打开直流电源和钽靶的挡板,调整直流功率为100‑200W,溅射钽,溅射完成后,关闭直流电源和钽靶的挡板;

(4)重复步骤(2)和步骤(3),即得具有多层致密复合膜的纯镁。

4.根据权利要求3所述的制备方法,其他特征在于,步骤(1)中,所述的纯镁与靶材之间的距离为5‑8cm。

5.根据权利要求3所述的制备方法,其他特征在于,步骤(1)中,所述的高真空状态:真‑4空度为≤6×10 Pa。

6.根据权利要求3所述的制备方法,其他特征在于,步骤(1)中,所述的气压为1‑3Pa。

7.根据权利要求3所述的制备方法,其他特征在于,步骤(1)中,所述的预溅射的时间为

5‑15min。

8.根据权利要求3所述的制备方法,其他特征在于,步骤(2)中,所述的溅射金属氧化物的时间为5‑120min。

9.根据权利要求3所述的制备方法,其他特征在于,步骤(3)中,所述的溅射钽的时间为

5‑60min。

10.根据权利要求3所述的制备方法,其他特征在于,步骤(4)中,所述的重复的次数为

1‑3次。