1.一种单晶硅生产用硅片清洗装置,其特征在于,包括:
硅片花篮;
夹持机构,设置在所述硅片花篮内,所述夹持机构包括第一夹持组件、第二夹持组件……第N夹持组件,相邻夹持组件之间用于夹持硅片;
移动组件,所述移动组件包括第一导向板和第二导向板,所述第一导向板和所述第二导向板均能够滑动地设置在所述硅片花篮内,所述第一导向板上设置有第一轨道,所述第二导向板上设置有第二轨道;
滑动杆,能够滑动地设置在所述硅片花篮内,所述滑动杆设置在所述第一导向板和所述第二导向板之间;
所述滑动杆沿着所述第一轨道和所述第二轨道运动时用以清洗硅片。
2.根据权利要求1所述的单晶硅生产用硅片清洗装置,其特征在于,所述第一轨道和所述第二轨道结构相同;所述第一轨道包括第一导向面、第二导向面、第三导向面、第四导向面、第五导向面、第六导向面、第七导向面和第八导向面,所述第一导向面、所述第三导向面、所述第五导向面和所述第七导向面为曲面,所述第二导向面、所述第四导向面、所述第六导向面和所述第六导向面均为竖直平面。
3.根据权利要求2所述的单晶硅生产用硅片清洗装置,其特征在于,所述第二导向面、所述第四导向面、所述第六导向面和所述第六导向面的高度为设定值。
4.根据权利要求1所述的单晶硅生产用硅片清洗装置,其特征在于,所述第一夹持组件包括第一夹持板、第二夹持板、第一齿柱、第二齿柱、第一弹性件和第二弹性件;所述第一夹持板和所述第二夹持板结构相同;所述第一夹持板上设置有第一安装孔和第二安装孔,所述第一齿柱能够滑动地设置在所述第一安装孔内,所述第一弹性件一端与所述第一齿柱固定连接,另一端与所述第一夹持板固定连接;所述第二齿柱能够滑动地设置在所述第二安装孔内,所述第二弹性件一端与所述第二齿柱固定连接,另一端与所述第一夹持板固定连接。
5.根据权利要求4所述的单晶硅生产用硅片清洗装置,其特征在于,所述第一安装孔内设置有第一导向柱;所述第二安装孔内设置有第二导向柱;所述第一齿柱上设置有第一导向槽,所述第一导向槽和所述第一导向柱配合;所述第二齿柱上设置有第二导向槽,所述第二导向槽和所述第二导向柱配合。
6.根据权利要求1所述的单晶硅生产用硅片清洗装置,其特征在于,所述清洗装置还包括第三弹性件、第四弹性件、第五弹性件和第六弹性件;所述第一导向板上设置有第一连接轴;所述第二导向板上设置有第二连接轴;所述第三弹性件一端与所述第一连接轴的一端固定连接,另一端与所述硅片花篮固定连接;所述第四弹性件一端与所述第一连接轴的另一端固定连接,另一端与所述硅片花篮固定连接;所述第五弹性件一端与所述第二连接轴的一端固定连接,另一端与所述硅片花篮固定连接;所述第六弹性件一端与所述第二连接轴的另一端固定连接,另一端与所述硅片花篮固定连接。
7.根据权利要求1所述的单晶硅生产用硅片清洗装置,其特征在于,所述硅片花篮的侧壁面上均匀的开设有多个漏孔。
8.根据权利要求1所述的单晶硅生产用硅片清洗装置,其特征在于,所述硅片花篮的底部均匀的开设有多个通孔。
9.根据权利要求1所述的单晶硅生产用硅片清洗装置,其特征在于,所述清洗装置还包括驱动件,所述驱动件用以提供所述滑动杆运动的驱动力。