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专利号: 2022113890468
申请人: 安徽方程式工业设计服务有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:授权未缴费
更新日期:2024-12-10
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.用于半导体集成电路的器件清洗装置,包括支撑底板(1),其特征在于:所述支撑底板(1)顶部固定连接有第一支撑板(2),所述第一支撑板(2)顶部设有转动盘(4),所述转动盘(4)顶部固定连接有清理箱(5),所述清理箱(5)内部设有放置台(6),所述放置台(6)底部固定连接有第一螺纹杆(7),所述第一螺纹杆(7)依次贯穿清理箱(5)和转动盘(4),所述第一螺纹杆(7)与清理箱(5)转动连接,所述第一螺纹杆(7)与转动盘(4)螺纹连接,所述第一螺纹杆(7)外侧设有用升降的调节组件,所述清理箱(5)顶部固定连接有支撑座(25),所述支撑座(25)顶部转动连接有外齿圈(15),所述外齿圈(15)外侧设有清理组件,所述支撑底板(1)顶部固定连接有第二支撑板(28),所述第二支撑板(28)顶部设有转盘(50),所述转盘(50)底部连接有转杆(29),所述转杆(29)贯穿第二支撑板(28)并与第二支撑板(28)转动连接,转盘(50)底部固定连接有第二电动推杆(32)和第三电动推杆(35),所述第三电动推杆(35)底部设有夹持组件,所述支撑底板(1)顶部固定连接有收纳框(48);

所述夹持组件包括固定框(36),所述固定框(36)固定连接于第三电动推杆(35)底部,所述固定框(36)底部转动连接有传动齿圈(52),所述传动齿圈(52)内部固定连接有锥齿轮圈(39),所述锥齿轮圈(39)外侧啮合连接有两个锥齿轮(45),两个所述锥齿轮(45)相对设置,所述锥齿轮(45)一侧固定连接有第一伸缩杆(41),所述第一伸缩杆(41)外侧转动连接有竖板(40),所述竖板(40)与固定框(36)固定连接,所述第一伸缩杆(41)外侧啮合连接有第二螺纹筒(42),所述第二螺纹筒(42)一端固定连接有夹持板(43),所述夹持板(43)与竖板(40)之间固定连接有第二伸缩杆(44);

所述夹持组件还包括横板(37),所述横板(37)固定连接于固定框(36)外侧,所述横板(37)顶部固定连接有第四电机(49),所述传动齿圈(52)外侧啮合连接有传动齿轮(38),第四电机(49)的输出轴与传动齿轮(38)固定连接;

所述调节组件包括第一螺纹筒(8),所述第一螺纹筒(8)螺纹连接于第一螺纹杆(7)外侧,所述第一螺纹筒(8)与第一支撑板(2)转动连接,所述第一螺纹筒(8)外侧固定连接有第一齿轮(11);

所述调节组件还包括固定齿圈(12),所述固定齿圈(12)与第一齿轮(11)啮合连接,所述转动盘(4)顶部固定连接有限位圈(9),所述限位圈(9)内壁固定连接有限位块(10),所述第一螺纹杆(7)外侧开设有滑槽,所述限位块(10)设置滑槽内部并与第一螺纹杆(7)滑动连接;

所述支撑底板(1)顶部固定连接有第三电机(47),第三电机(47)的输出轴与转杆(29)固定连接,所述第二电动推杆(32)底部固定连接有连接盘(30),所述连接盘(30)底部固定连接有出气头(31),所述转盘(50)顶部固定连接有吹风装置(34),吹风装置(34)的出气端与出气头(31)之间连接通有出气管(33)。

2.根据权利要求1所述的用于半导体集成电路的器件清洗装置,其特征在于:所述转动盘(4)底部固定连接有转动杆(3),所述转动杆(3)贯穿第一支撑板(2)并与第一支撑板(2)转动连接,所述支撑底板(1)顶部固定连接有第二电机(27),第二电机(27)的输出轴与转动杆(3)固定连接。

3.根据权利要求1所述的用于半导体集成电路的器件清洗装置,其特征在于:所述清理组件包括安装板(13),所述安装板(13)固定连接于清理箱(5)外侧,所述外齿圈(15)外侧啮合连接有第二齿轮(14),所述外齿圈(15)内壁固定连接有连接板(16),所述连接板(16)一侧固定连接有第一电动推杆(17),所述第一电动推杆(17)一端固定连接有连接框(18)。

4.根据权利要求3所述的用于半导体集成电路的器件清洗装置,其特征在于:所述清理组件还包括推动架(19),所述推动架(19)设置于连接框(18)内部并与连接框(18)滑动连接,所述推动架(19)一端固定连接有清理盘(20),所述连接框(18)和推动架(19)之间固定连接有弹簧(21),所述安装板(13)底部固定连接有第一电机(26),第一电机(26)的输出轴与第二齿轮(14)固定连接。

5.根据权利要求4所述的用于半导体集成电路的器件清洗装置,其特征在于:所述支撑座(25)内壁固定连接有喷头(51),所述清理箱(5)外侧固定连接有安装架(22),所述安装架(22)底部固定连接有水箱(53),所述水箱(53)内部安装有水泵,所述喷头(51)一端固定连接有可伸缩水管(23),所述可伸缩水管(23)一端与水泵出水端连接,所述清理箱(5)与水箱(53)之间固定连通有出水管(24),所述出水管(24)外侧安装有过滤装置(46)。