1.一种升降式半导体集成电路芯片晶圆超声波清洗设备,包括超声波清洗底板(1),其特征在于:所述超声波清洗底板(1)的顶部安装有固定后板(2),所述固定后板(2)的正面安装有升降组件,所述升降组件用于控制晶圆清洗过程中的上下移动;
所述升降组件包括升降后板(3),且两组升降后板(3)安装在固定后板(2)的正面,所述升降后板(3)的正面安装有电机安装盒(4),且电机安装盒(4)安装在超声波清洗底板(1)的顶部,所述电机安装盒(4)的内部安装有双向电机(5),所述双向电机(5)的顶部安装有双向滚珠丝杆(6),且双向滚珠丝杆(6)活动贯穿电机安装盒(4)的顶部,所述双向滚珠丝杆(6)的顶部安装有限位顶板(7),且限位顶板(7)安装在升降后板(3)的正面,所述限位顶板(7)的底部安装有两组固定杆(8),且固定杆(8)的底部安装在电机安装盒(4)的顶部,所述固定杆(8)的外表面活动安装有滑动块(9),且滑动块(9)的内部通过螺纹活动安装在双向滚珠丝杆(6)的外表面,两组所述滑动块(9)的正面安装有一组升降横板(10),所述升降横板(10)的正面安装有两组L型托板(11),两组所述L型托板(11)的内部开设有第一放置槽(12),所述L型托板(11)的背面安装有固定支架(13),且固定支架(13)的一端安装在升降横板(10)的底部,所述第一放置槽(12)的顶部安装有清洗框(14),所述清洗框(14)用于放置晶圆进行超声波清洗。
2.根据权利要求1所述的一种升降式半导体集成电路芯片晶圆超声波清洗设备,其特征在于:所述清洗框(14)的底部开设有第二放置槽(15),所述清洗框(14)的内部开设有晶圆放置槽(16),所述清洗框(14)的内部安装有晶圆限位架(17),所述晶圆限位架(17)的内部开设有晶圆限位槽(18),所述晶圆限位槽(18)用于对清洗框(14)内的晶圆进行固定和限位。
3.根据权利要求1所述的一种升降式半导体集成电路芯片晶圆超声波清洗设备,其特征在于:所述超声波清洗底板(1)的顶部安装有超声波清洗外槽(19),所述超声波清洗外槽(19)的顶部安装有超声波清洗组件,所述超声波清洗组件用于清洗晶圆,所述超声波清洗外槽(19)的一侧安装有循环组件,所述循环组件用于超声波清洗液的循环利用。
4.根据权利要求3所述的一种升降式半导体集成电路芯片晶圆超声波清洗设备,其特征在于:所述超声波清洗组件包括超声波清洗内槽(20),且超声波清洗内槽(20)位于的超声波清洗外槽(19)的顶部,所述超声波清洗内槽(20)的内部开设有溢流孔(21),所述超声波清洗内槽(20)的内部安装有多组加热棒(22),所述超声波清洗内槽(20)的内部安装有分隔架(23),且分隔架(23)位于加热棒(22)的上方,所述超声波清洗内槽(20)的内部安装有温度传感器(24),且温度传感器(24)位于分隔架(23)的上方,所述超声波清洗内槽(20)的底部安装有振子安装盒(25),所述振子安装盒(25)的内部安装有多组超声波振子(26),且超声波振子(26)安装在超声波清洗内槽(20)的底部。
5.根据权利要求3所述的一种升降式半导体集成电路芯片晶圆超声波清洗设备,其特征在于:所述循环组件包括清洗液出液管道(27),且清洗液出液管道(27)贯穿安装在超声波清洗外槽(19)的一侧,所述清洗液出液管道(27)的一端贯穿安装有清洗液过滤器(28),且清洗液过滤器(28)安装在超声波清洗底板(1)的顶部,所述清洗液过滤器(28)的背面安装有清洗液输送管道(29),所述清洗液输送管道(29)的一端安装有清洗液循环泵(30),所述清洗液循环泵(30)的一侧安装有清洗液进液管道(31),且清洗液进液管道(31)的一端贯穿安装在超声波清洗外槽(19)和超声波清洗内槽(20)的背面。
6.根据权利要求1所述的一种升降式半导体集成电路芯片晶圆超声波清洗设备,其特征在于:所述超声波清洗底板(1)的底部安装有支撑架(32),所述支撑架(32)的底部安装有多组移动轮(33),所述移动轮(33)用于移动该升降式半导体集成电路芯片晶圆超声波清洗设备。
7.根据权利要求1所述的一种升降式半导体集成电路芯片晶圆超声波清洗设备,其特征在于:所述超声波清洗底板(1)的顶部安装有超声波清洗机柜体(34),所述超声波清洗机柜体(34)的正面安装有四组合页(35),所述合页(35)的一侧安装有超声波清洗机柜门(36),所述超声波清洗机柜门(36)的正面安装有两组把手(37),所述超声波清洗机柜门(36)的内部安装有超声波清洗机观察窗(38),所述超声波清洗机观察窗(38)用于实时查看晶圆清洗情况。