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专利号: 2022112923924
申请人: 上海第二工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-10-14
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种用于金刚线切割大尺寸硅片的切削液,其特征在于,以质量百分比计,其由以下组分组成:助溶剂 1‑5%,乳化剂30‑40%,消泡剂1%,润湿剂5‑12%,润滑剂1‑3%,余量为水,以上总重量满足100%;其中:助溶剂为β‑萘酚聚氧乙烯醚;

乳化剂为椰油酸二乙醇酰胺;

润湿剂为复合润湿剂或者非离子有机超级润湿剂,复合润湿剂由炔二醇类润湿剂和炔二醇醚类润湿剂组成;

润滑剂为油胺;其中:

炔二醇类润湿剂为SURFYNOL*104H,炔二醇醚类润湿剂为SURFYNOL*420;非离子有机超级润湿剂为DYNOL 810。

2.如权利要求1所述的大尺寸硅片金刚线切割的切削液,其特征在于,消泡剂选自炔二醇类消泡剂或者活性聚醚消泡剂中的一种。

3.如权利要求2所述的大尺寸硅片金刚线切割的切削液,其特征在于,炔二醇类消泡剂为SURFYNOL*DF110‑D消泡剂,活性聚醚消泡剂为TEGO*Antifoam KS 911消泡剂。

4.如权利要求1所述的大尺寸硅片金刚线切割的切削液,其特征在于,大尺寸硅片的直径在182‑210nm之间。

5.一种如权利要求1所述的大尺寸硅片金刚线切割的切削液的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:在室温下,先将助溶剂与水混合,再依次加入乳化剂、润滑剂和润湿剂,搅拌均匀后再加入消泡剂,持续搅拌至澄清透明液,获得用于金刚线切割大尺寸硅片的切削液。