1.一种基于微纳波导的温度探测装置,其特征在于,包括用于吸收外部热量并进行热传递的吸热层(1)、设置于所述吸热层(1)上侧并能够吸收所述吸热层(1)所传递热量后内部发生热膨胀的传热变形层(2)、设置于所述传热变形层(2)上侧并与所述吸热层(1)的底面相平行布置的微纳结构波导(3)以及包覆所述微纳结构波导(3)并与所述传热变形层(2)结合在一起的导热保护层(4);
所述微纳结构波导(3)包括呈线性阵列分布并能够在所述传热变形层(2)吸收热量后内部发生热膨胀时可产生波导周期变化的光栅波导(301)以及与所述光栅波导(301)相垂直布置的直波导(302);所述光栅波导(301)的一端为光信号输入端(303),另一端为反射端(304),所述直波导(302)垂直设置在靠近所述光栅波导(301)的所述光信号输入端(303)的栅区附近,所述直波导(302)远离所述光栅波导(301)的一端为信号输出端;
所述传热变形层(2)包括均匀间隔设置在所述吸热层(1)上侧的多个热膨胀块(201)以及包覆所述热膨胀块(201)并与所述吸热层(1)结合在一起的柔性层(202),所述光栅波导(301)和所述直波导(302)均设置在所述柔性层(202)的上侧,所述直波导(302)靠近所述光栅波导(301)的一端与所述光栅波导(301)保留有间隙;
所述热膨胀块(201)位于所述光栅波导(301)的栅格间隙的正下方,所述光栅波导(301)每隔一个栅格间隙对应设置一个位于栅格间隙正下方的所述热膨胀块(201)。
2.根据权利要求1所述的基于微纳波导的温度探测装置,其特征在于,所述热膨胀块(201)的方形条状块。
3.根据权利要求1所述的基于微纳波导的温度探测装置,其特征在于,所述热膨胀块(201)为贴近所述吸热层(1)的接触面大而靠近所述光栅波导(301)一侧的接触面小的块状结构。
4.根据权利要求1‑3任一项所述的基于微纳波导的温度探测装置,其特征在于,所述热膨胀块(201)的材料选自高膨胀合金Cu60Zn40、FeNi22Cr3,FeNi20Mn6、FeNi13Mn7和Mn72Cr18Ni10合金中的任意一种。
5.根据权利要求4所述的基于微纳波导的温度探测装置,其特征在于,所述吸热层(1)的材料为黑铬镀层。
6.根据权利要求4所述的基于微纳波导的温度探测装置,其特征在于,所述直波导(302)与光栅波导(301)之间的间隙距离小于200纳米,所述光栅波导(301)的反射端(304)的宽度大于所述光栅波导(301)的宽度。
7.根据权利要求4所述的基于微纳波导的温度探测装置,其特征在于,所述光栅波导(301)和所述直波导(302)均为硅材料。
8.根据权利要求7所述的基于微纳波导的温度探测装置,其特征在于,所述柔性层(202)的材料为聚酰亚胺,所述导热保护层(4)的材料为聚二甲基硅氧烷PDMS材料。