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专利号: 2022108819063
申请人: 陕西帆瑞威光电科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种微纳波导隔离器,包括衬底、第一光栅波导、第二光栅波导、第三波导,所述第一光栅波导、所述第二光栅波导、所述第三波导置于所述衬底上,其特征在于,所述第一光栅波导和所述第二光栅波导平行,所述第三波导与所述第一光栅波导和所述第二光栅波导垂直,所述第三波导置于所述第一光栅波导和所述第二光栅波导之间,所述第三波导的两端置于所述第一光栅波导和所述第二光栅波导栅区附近,所述第一光栅波导的两端分别设有第一输出端和第一反射端,所述第二光栅波导的两端分别设有第二输出端和第二反射端。

2.如权利要求1所述的微纳波导隔离器,其特征在于:所述第一光栅波导为短周期光栅,所述第二光栅波导为长周期光栅。

3.如权利要求1所述的微纳波导隔离器,其特征在于:所述衬底的材料为二氧化硅。

4.如权利要求1所述的微纳波导隔离器,其特征在于:所述第三波导的两端与所述第一光栅波导和所述第二光栅波导均不接触。

5.如权利要求4所述的微纳波导隔离器,其特征在于:所述第三波导的两端与所述第一光栅波导和所述第二光栅波导之间的距离均小于1微米。

6.如权利要求1所述的微纳波导隔离器,其特征在于:所述第三波导的材料为硅。

7.如权利要求1所述的微纳波导隔离器,其特征在于:所述第一输出端和所述第一反射端的材料为硅。

8.如权利要求7所述的微纳波导隔离器,其特征在于:所述第一反射端的宽度大于所述第一光栅波导的宽度。

9.如权利要求1所述的微纳波导隔离器,其特征在于:所述第二输出端和所述第二反射端的材料为硅。

10.如权利要求9所述的微纳波导隔离器,其特征在于:所述第二反射端的宽度大于所述第二光栅波导的宽度。