1.一种降低类碳化硅晶体多线切割中弯曲翘曲度的方法,其特征在于:包括下述步骤:步骤(1)、选择双数块整形完成的标准晶体,以A和B分别表示每个晶体的两个面;
步骤(2)、选择步骤(1)中的双数块晶体,在粘胶台上按照A‑B‑B‑A‑A‑B‑B‑A顺序和方向将双数个晶体粘接成整体;加压12小时;
步骤(3)、将步骤(2)粘接加工完成的晶体粘接到切割工件板上,待粘胶彻底冷却后即可进行多线切割;
所述的步骤(1)中,所述的整形完成的标准晶体指外圆研磨完成合格、平面研磨完成合格、晶向一致、平行度合格、无崩边无裂纹;
所述的晶向一致指误差小于0.2°,平行度小于0.04毫米,表面粗糙度小于0.5微米。