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专利号: 2022110023292
申请人: 江苏方达正塬电子材料科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-08-12
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种隔离粉的制备方法,其特征在于,该制备方法包括以下步骤:

1)在N2的保护下,分别将经预处理后的α‑Si3N4粉体、BN粉体、活性炭和Si粉体制成微纳粉体S1、S2、S3和S4;

其中,对α‑Si3N4粉体、BN粉体、活性炭和Si粉体进行预处理的具体操作为:使用具有加温装置的混料器对α‑Si3N4粉体、BN粉体、活性炭和Si粉体各自进行充分混匀和除湿,同时不停地向各个粉体中充入N2,以去除各个粉体中的氧气;

2)将前述的微纳粉体S1、S2、S3和S4按比例输送至粉体混料机中,在N2的保护下进行成分混合,形成混合粉料S0;

3)将混合粉料S0转移至砂磨机中,转移过程中保持无氧气接触,并同时加入无水乙醇和胶结剂进行研磨,以制成微纳浆料J0;

4)使用喷雾造粒机对微纳浆料J0进行造粒,并用孔径分别为M1+100μm和M1的筛子对颗粒进行过筛;

5)将筛分大于M1+100μm和小于M1的颗粒重新输送至砂磨机进行研磨,而对中间尺寸的颗粒进行排胶处理后,即得隔离粉产品;

其中,所述步骤4)中孔径M1的取值范围为20≤M1≤300;

所述混合粉料S0中α‑Si3N4粉体、BN粉体、活性炭和Si粉体的比例分别为75%‑90%、9%‑

14%、0.5%‑5%、0.5%‑6%;

所述砂磨机的内壁和磨介球为Si3N4或AlN制成;

所述胶结剂为PMA、PMMA或PMB中的一种或两种以上混配物;

所述砂磨机制成的微纳浆料J0中各粉体的粒径为1 20μm。

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2.根据权利要求1所述的一种隔离粉的制备方法,其特征在于,所述步骤2)中粉体混料机的混料转速为80‑110r/min。

3.一种隔离粉,其特征在于,由权利要求1‑2任一所述的隔离粉的制备方法制成。

4.一种隔离粉的应用,其特征在于,如权利要求3所述的隔离粉在氮化铝基板生产加工上的应用。