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专利号: 2022109648870
申请人: 江苏晶杰光电科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2024-10-09
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆加工用清洗装置,其特征在于,所述晶圆加工用清洗装置包括:

底座(1)以及固定安装在所述底座(1)上的固定板(2),所述固定板(2)上固定有横板(3),所述横板(3)上固定有用于输送晶圆的导料管(8),所述底座(1)上设置有用于引导所述导料管(8)内晶圆下料的下料机构;

所述下料机构上固定有转盘(20),所述转盘(20)上开设有呈圆周等距设置的通槽,所述通槽内设置有用于承接晶圆的承接板(21),所述底座(1)上设置有用于驱动所述承接板(21)摆动的限位机构,所述转盘(20)上还设置有与所述限位机构连接的承接机构,所述横板(3)上转动安装有用于清洁晶圆的两组刷头(18),所述底座(1)上设置有用于驱动所述刷头(18)转动的驱动机构,所述驱动机构上固定有与所述下料机构连接的主动轮(13),所述驱动机构通过所述主动轮(13)驱动所述下料机构间歇运动;所述限位机构包括设置在所述转盘(20)上且与所述承接板(21)固定连接的往复组件、固定安装在所述承接板(21)上的一号限位杆(22)、固定安装在所述底座(1)上且与所述一号限位杆(22)间歇抵接的一号支撑杆(23),所述横板(3)上固定有与所述往复组件间歇抵接的二号支撑杆(26),所述往复组件与所述承接机构连接;所述往复组件包括转动安装在所述通槽内且与所述承接板(21)固定连接的三号转动杆(24)、套设在所述三号转动杆(24)上的二号扭簧(27)、固定安装在所述三号转动杆(24)上且与所述二号支撑杆(26)间歇抵接的二号限位杆(25),所述三号转动杆(24)与所述承接机构连接;所述承接机构包括固定安装在所述通槽内的支撑板(28)、固定安装在所述三号转动杆(24)上且呈对称设置的一号连杆(29)、铰接在所述一号连杆(29)上的二号连杆(30),所述转盘(20)上设置有与所述支撑板(28)连接的滑动组件,所述滑动组件与所述二号连杆(30)铰接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用清洗装置,其特征在于,所述下料机构包括转动安装在所述导料管(8)上的限位板(9)、固定安装在所述限位板(9)上的限位块(4)、套设在所述限位板(9)转轴上且呈对称设置的一号扭簧(10),所述底座(1)上设置有与所述限位块(4)间歇抵接的从动组件,所述从动组件与所述主动轮(13)连接且与所述转盘(20)固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆加工用清洗装置,其特征在于,所述从动组件包括转动安装在所述底座(1)上的一号转动杆(5)、固定安装在所述一号转动杆(5)上的转动板(6)、固定安装在所述转动板(6)上且呈圆周等距设置的滑轮(7),所述一号转动杆(5)上固定有与所述主动轮(13)配合的从动轮(11),所述滑轮(7)与所述限位块(4)间歇抵接,所述一号转动杆(5)与所述转盘(20)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用清洗装置,其特征在于,所述滑动组件包括开设在所述支撑板(28)上且呈对称设置的滑槽(32)、滑动安装在所述滑槽(32)内的滑动块(31)、固定安装在所述滑动块(31)上的挡板(33),所述滑动块(31)与所述二号连杆(30)铰接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用清洗装置,其特征在于,所述驱动机构包括转动安装在所述底座(1)上的传动杆(15)、套设在所述传动杆(15)上且与其中一个所述刷头(18)转轴连接的一号皮带(17)、套设在两个所述刷头(18)上的二号皮带(19),所述底座(1)上设置有与所述传动杆(15)连接的齿合组件,所述齿合组件与所述主动轮(13)固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆加工用清洗装置,其特征在于,所述齿合组件包括固定安装在所述传动杆(15)上的小齿轮(16)、转动安装在所述底座(1)上的二号转动杆(12)、固定安装在所述二号转动杆(12)上且与所述小齿轮(16)啮合的大齿轮(14),所述二号转动杆(12)与所述主动轮(13)固定连接。