1.一种增强抗湿性能的纳米粒子组装材料气敏传感器，其特征在于包括带有绝缘衬底的叉指电极以及在叉指电极上沉积的金属纳米粒子，当在叉指电极的电极两端输入电压，叉指之间形成偏压，通过金属纳米粒子形成导电通路，产生电信号作为气敏传感响应信号；

在叉指电极及金属纳米粒子的表面涂镀疏水薄膜层，形成包覆嵌埋结构，对金属纳米粒子及叉指电极表面进行保护，隔离水分子在金属纳米粒子表面的吸附，从而达到抗湿作用；其中，疏水薄膜层为PMMA、PDMS、PTFE、PFA和SiO2疏水材料中的一种或多种；

PMMA、PDMS、PTFE、PFA和SiO2疏水材料中的一种或多种，通过旋涂或蒸镀的方法，涂镀于叉指电极及金属纳米粒子表面，与金属纳米粒子形成包覆嵌埋结构，对金属纳米粒子及叉指电极表面进行保护；

疏水薄膜层在叉指电极表面的覆盖厚度在50 nm – 100 μm之间。

2.如权利要求1所述的一种增强抗湿性能的纳米粒子组装材料气敏传感器，其特征在于所述绝缘衬底为硅片绝缘层，叉指电极是在硅片绝缘层上呈叉指状镀金丝所形成的金叉指电极。

3.如权利要求1所述的一种增强抗湿性能的纳米粒子组装材料气敏传感器，其特征在于制备方法包括以下步骤：（1）将金属靶材放置在团簇束流沉积设备的溅射枪上，将叉指电极放置在团簇束流沉积系统的沉积室内，对整个装置抽真空；

（2）溅射枪上通入溅射气，并向团簇束流沉积系统的溅射腔中通入缓冲气；

（3）溅射金属靶材，在叉指电极表面沉积金属纳米粒子；

（4）通过旋涂或蒸镀的方法，在叉指电极及金属纳米粒子表面涂镀PMMA、PDMS、PTFE、PFA和SiO2疏水材料中的一种或多种，形成疏水薄膜层。

4.如权利要求3所述的一种增强抗湿性能的纳米粒子组装材料气敏传感器的制备方法，其特征在于步骤（2）中，以纯度99.99%以上的高纯氩气作为溅射气和缓冲气，溅射腔内气压保持在100 120Pa。

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5.如权利要求3所述的一种增强抗湿性能的纳米粒子组装材料气敏传感器的制备方法，其特征在于步骤（3）中，将金属靶材的溅射功率设置为10 15W，溅射时间为1200 2000 ~ ~s。

6.如权利要求3所述的一种增强抗湿性能的纳米粒子组装材料气敏传感器的制备方法，其特征在于金属靶材为Pd靶材。