1.一种电子控制晶圆平整度加工化学机械研磨设备，其特征在于，包括操作台（1），所述操作台（1）上设置有支撑柱（2），所述支撑柱（2）上转动安装有摆动梁（3），所述摆动梁（3）上设置有长槽孔，所述摆动梁（3）转动安装使研磨加工区调节，所述摆动梁（3）转动设置有安装座（4），所述安装座（4）上转动设置有多组安装轴（5），所述安装座（4）使多组安装轴（5）与摆动梁（3）转动安装，所述安装轴（5）上同轴设置有研磨块（6）；

还包括传动轴（7），所述传动轴（7）与支撑柱（2）转动连接，所述传动轴（7）上同轴设置有主动链轮（8），所述安装座（4）内部同轴转动设置有支撑轴（9），所述支撑轴（9）上同轴设置有第一齿轮（10），所述安装轴（5）上同轴设置有第二齿轮（11），所述第一齿轮（10）与多组第二齿轮（11）啮合连接，所述支撑轴（9）上同轴设置有从动链轮（12），所述支撑轴（9）使第一齿轮（10）和从动链轮（12）同轴安装且与安装座（4）转动连接，所述主动链轮（8）与从动链轮（12）通过链条（13）啮合连接，所述链条（13）和主动链轮（8）与从动链轮（12）啮合使传动轴（7）同步带动支撑轴（9）转动；

还包括第三齿轮（14），所述第三齿轮（14）同轴安装在传动轴（7）上，所述操作台（1）上转动安装有驱动轴（15），所述驱动轴（15）上同轴设置有第四齿轮（16），所述第四齿轮（16）与第三齿轮（14）啮合连接，所述驱动轴（15）上同轴设置有传动轮（17），所述传动轮（17）上设置有定位柱，所述操作台（1）上转动设置有曲轴（18），所述曲轴（18）与摆动梁（3）长槽孔滑动连接，所述曲轴（18）转动与摆动梁（3）长槽孔配合使多组研磨块（6）加工区进行调节，所述曲轴（18）上同轴设置有联动齿轮（19），所述联动齿轮（19）上设置有传动杆，所述传动轮（17）与联动齿轮（19）配合连接；

所述传动轮（17）上设置有凹槽，所述凹槽处设置有齿牙，所述联动齿轮（19）设置有弧形槽，所述联动齿轮（19）弧形槽与传动轮（17）滑动连接，所述传动轮（17）齿牙与联动齿轮（19）外齿啮合连接，所述传动轮（17）与联动齿轮（19）弧形槽滑动连接时联动齿轮（19）带动曲轴（18）处于锁止状态，所述传动轮（17）与联动齿轮（19）啮合传动时驱动轴（15）同步带动曲轴（18）转动；

还包括滑套（24），两组所述滑套（24）对称安装在操作台（1）空腔内部，所述滑套（24）内腔中滑动设置有定位柱（25），所述定位柱（25）两端分别设置有摆动框（26）和摆放盘（27），所述摆动框（26）位于操作台（1）空腔内部，所述摆动框（26）上设置有内槽，所述摆放盘（27）上设置有多组安装孔；

还包括主动轴（28），所述主动轴（28）转动安装在操作台（1）空腔内部，所述主动轴（28）上设置有两组安装梁（29），所述两组安装梁（29）之间对称设置有传导轴（30），所述传导轴（30）与摆动框（26）内槽滑动连接，所述主动轴（28）上同轴设置有蜗轮（31）；

还包括支撑架（32）和扇形锥齿轮（40），所述支撑架（32）安装在操作台（1）空腔内部，所述支撑架（32）上转动设置有蜗杆（33），所述蜗杆（33）与蜗轮（31）啮合连接，所述蜗杆（33）上同轴设置有第七齿轮（34），所述支撑架（32）上滑动设置有联动框（35），所述联动框（35）上安装有直齿条（36），所述直齿条（36）与第七齿轮（34）啮合连接，所述支撑架（32）上设置有固定座（37），所述固定座（37）上转动设置有锥齿轮（38），所述锥齿轮（38）上同轴设置有偏心块（39），所述偏心块（39）与联动框（35）槽腔滑动连接，所述扇形锥齿轮（40）同轴安装在驱动轴（15），所述扇形锥齿轮（40）与锥齿轮（38）啮合连接。

2.如权利要求1所述的一种电子控制晶圆平整度加工化学机械研磨设备，其特征在于，还包括联动轴（20），所述联动轴（20）转动安装在摆动梁（3）上，所述联动轴（20）上同轴设置有第五齿轮（21），所述安装座（4）上同轴设置有第六齿轮（22），所述第五齿轮（21）与第六齿轮（22）啮合连接，所述联动轴（20）上同轴设置有传动链轮（23），所述联动轴（20）使第五齿轮（21）与传动链轮（23）同轴安装且与摆动梁（3）转动连接，所述传动链轮（23）与链条（13）啮合连接。

3.如权利要求1所述的一种电子控制晶圆平整度加工化学机械研磨设备，其特征在于，还包括驱动电机（41），所述驱动电机（41）安装在操作台（1）空腔内部，所述驱动电机（41）输出端与传动轴（7）同轴连接。