1.一种大尺寸高纯陶瓷基板的制备工艺,其特征在于,包括如下步骤:
S1、改性纳米γ‑氧化铝颗粒:使用偶联剂将纳米γ‑氧化铝颗粒改性;
S2、浆料配制:将配方量的微米α‑氧化铝、改性纳米γ‑氧化铝、溶剂、分散剂按比例加入球磨机,进行球磨分散,分散完成后再加入粘结剂和增塑剂进行二次球磨,出料后通过真空脱泡获得粘度为2000‑3000mPa·s的流延浆料;
S3、流延:将所述流延浆料用流延机流延成型,再将所得流延生坯片裁剪成相应的尺寸形状;
S4、排胶:将流延生胚片置于模具中,叠放至指定厚度后,置于热压烧结炉中排胶,且不施加压力;
S5、低压成型:排胶完成后,于热压烧结炉中对其施加轴向梯度压力,保压一段时间,令其叠层压实;
S6、烧结:提升热压烧结炉温度并调整压力对其进行热压烧结,制得大尺寸高纯陶瓷基板。
2.根据权利要求1所述的一种大尺寸高纯陶瓷基板的制备工艺,其特征在于,在S2步骤中粉体组成其体积占比分别为:改性微米α‑氧化铝90‑92份,改性纳米γ‑氧化铝8‑10份。
3.根据权利要求1所述的一种大尺寸高纯陶瓷基板的制备工艺,其特征在于,在S2步骤中,所述溶剂的添加量为所述氧化铝粉体总质量的28‑32%,所述分散剂的添加量为所述氧化铝粉体总质量的2‑4%,所述粘接剂的添加量为所述氧化铝粉体总质量的8‑10%,所述增塑剂的添加量为所述氧化铝粉体总质量的6‑8%。
4.根据权利要求1所述的一种大尺寸高纯陶瓷基板的制备工艺,其特征在于,在S2步骤中,所述溶剂为无水乙醇和丁酮的二元共沸混合物,所述分散剂为磷酸三丁酯,所述粘接剂为聚乙烯醇缩丁醛,所述增塑剂为聚乙二醇。
5.根据权利要求1所述的一种大尺寸高纯陶瓷基板的制备工艺,其特征在于,在S2步骤中,所述球磨分散的时间为24‑48小时,二次球磨的时间为24小时。
6.根据权利要求1所述的一种大尺寸高纯陶瓷基板的制备工艺,其特征在于,所述的微米α‑氧化铝平均粒径为0.5μm,纳米γ‑氧化铝平均粒径为10nm。
7.根据权利要求1所述的一种大尺寸高纯陶瓷基板的制备工艺,其特征在于,在S4步骤中,所述的排胶温度为400‑600℃,排胶气氛为空气气氛,保温时间为2‑4小时,且叠放1片及以上的生坯坯体。
8.根据权利要求1所述的一种大尺寸高纯陶瓷基板的制备工艺,其特征在于,在S5步骤中,所述的轴向梯度压强最高为20‑40MPa,保压时间为3‑10分钟。
9.根据权利要求1所述的一种大尺寸高纯陶瓷基板的制备工艺,其特征在于,在S6步骤中,所述的热压烧结炉的压强为60‑100MPa,烧结温度为1580‑1650℃,烧结气氛为真空气氛,保温时间为1‑2小时。