1.一种集成式微温控器件，包括底板、盖板和加热线圈；其特征在于：

所述的底板和盖板均为石英玻璃板或硅片，为尺寸相同的矩形，边的长度为20～

200mm，厚度为1～3mm；底板上开有形成制冷液流道的沟槽，制冷液流道的深度为0.5～2mm；

制冷液流道包括深度相同的入口汇集流道、出口汇集流道和多条分流流道，多条分流流道成对称的双曲线排列；所述的分流流道由多个特斯拉阀结构的微流道首尾连接构成，每条分流流道的制冷液流入端接入口汇集流道，制冷液流出端接出口汇集流道；入口汇集流道开口于底板的一侧，形成制冷液入口；出口汇集流道开口于底板的另一侧，形成制冷液出口；所述的盖板设置在底板开有沟槽的一面，盖板的一面将沟槽顶面封闭，形成制冷液流道，另一面设置有加热线圈；所述的加热线圈为蛇形或双螺旋形的金属线，金属线的两端为两个输入电极。

2.如权利要求1所述的一种集成式微温控器件，其特征在于：分流流道中的单个特斯拉阀结构的微流道的长度为2～3mm，宽度为0.1～0.5mm。

3.如权利要求1所述的一种集成式微温控器件，其特征在于：相邻两条分流流道与入口汇集流道或出口汇集流道的交汇点间隔6～10mm，中间最窄处间隔2～4mm。

4.制备如权利要求1、2或3所述的一种集成式微温控器件的方法，其特征在于：步骤(1)选取两块边的长度为20～200mm、厚度为1～3mm的石英玻璃板或硅片，清洗干净，其中一块作为底板，另一块作为盖板；

步骤(2)在底板表面涂覆光刻胶，利用光刻技术按照设计刻出冷液流道形貌，然后在底板表面刻蚀出深度为0.5～2mm的沟槽；

步骤(3)清洗底板，然后使用等离子清洗机在氧气氛围下，对底板具有沟槽的一面以及盖板的一面进行表面活化；

步骤(4)利用阳极键合的方法将表面活化后的底板和盖板键合；

步骤(5)在盖板的一面溅射一层金属薄膜，金属薄膜涂覆光刻胶，利用光刻技术按照设计刻出加热线圈形貌，在盖板上刻出具有两个输入电极的加热线圈。