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专利号: 2022107773857
申请人: 西安理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种适用于低中高功率激光的焦点判定装置,其特征在于:包括宽禁带半导体探测器阵列架,宽禁带半导体探测器阵列架的中心处安装有激光头,激光头底部的激光出光口发出激光烧蚀放置在工作平台上方的金属靶材产生等离子体紫外辐射信号;宽禁带半导体探测器阵列架还安装有若干个透光率不同的宽禁带半导体探测器模块;

所述宽禁带半导体探测器阵列架包括阵列架正面架体和阵列架背面架体,阵列架正面架体上均匀分布有若干个透光率不同的宽禁带半导体探测器模块;阵列架背面架体上分别安装有MCU和扬声器;

每个所述宽禁带半导体探测器模块包括并列设置的两个PCB电路板,每个PCB电路板上安装有宽禁带半导体传感器,将透光率为零的遮光片安装在其中第一个宽禁带半导体传感器上方做全遮光处理;第二个宽禁带半导体传感器上方进行不同透光率的遮光处理;

所述第二个宽禁带半导体传感器上分别进行未安装遮光片及安装遮光率为~

的遮光片的遮光处理。

2.采用如权利要求1所述的一种适用于低中高功率激光的焦点判定装置进行激光定焦的方法,其特征在于,具体包括如下步骤:步骤1,调整激光头位置,使加工平台与激光头下边沿超过F,设定定焦过程中允许的误差范围Err;

步骤2,开启激光器,激光头经激光出光口发射激光束烧蚀加工平台上的金属靶材,产生等离子体紫外辐射信号;

步骤3,开启定焦装置,宽禁带半导体探测器阵列架采集等离子体紫外辐射信号;

步骤4,进行遍历过程,用宽禁带半导体探测器阵列架上安装的宽禁带半导体探测器采集等离子体紫外辐射信号找出等离子体紫外辐射信号最大值 Lmax,将Lmax的值作为焦点判断依据;

步骤5,开始寻找焦点,扬声器以  /10 的频率以及以  /10 的大小的音调鸣叫,使用者手动向上调整激光的位置,移动过程中扬声器以  ×p 频率以及  ×p 大小的音调鸣叫,用于提示当前点距离焦点位置的远近,直至扬声器以目标频率及分贝进行鸣叫,说明|Lnow –Lmax|≤ Err,则表明目前已到达焦点位置;Lnow为当前等离子体紫外辐射信号值,p为当前等离子体紫外辐射信号值Lnow与等离子体紫外辐射信号最大值Lmax的比值;

步骤6,定焦完成,关闭定焦装置。