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专利号: 2022107555392
申请人: 北京智芯微电子科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-10-10
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种基于掺杂液态金属的梯度式刚柔互联方法,其特征在于,

包括如下步骤:

步骤1.分别按照不同的比例将多份导电纳米材料与多份液态金属材料进行一一对应混合并进行搅拌混匀处理,得到多份具有不同导电纳米材料掺杂比例的液态金属;

所述步骤1中,液态金属中掺杂导电纳米材料的掺杂质量比浓度范围是0至30%;

步骤2.按照导电纳米材料掺杂比例由高到低或由低到高的梯度变换关系,将不同导电纳米材料掺杂比例的液态金属依次连接并组合形成一段液态金属互联导线;

步骤3.将刚性芯片管脚浸入液态金属互联导线中具有最高导电纳米材料掺杂比例的部位,以形成电气互联。

2.根据权利要求1所述的基于掺杂液态金属的梯度式刚柔互联方法,其特征在于,所述步骤1中,在进行导电纳米材料掺杂之前,先将一维或二维导电纳米材料进行研磨,然后将研磨好的导电纳米材料转移到分样筛中进行过筛处理。

3.根据权利要求2所述的基于掺杂液态金属的梯度式刚柔互联方法,其特征在于,所述步骤1中,一维或二维导电纳米材料包括金属纳米颗粒、金属纳米线、碳基纳米颗粒、碳基纳米线、碳基纳米片或过渡金属碳化物。

4.根据权利要求1所述的基于掺杂液态金属的梯度式刚柔互联方法,其特征在于,所述步骤1中,液态金属材料包括镓铟合金、镓铟锡合金、铯铷钫合金或液态汞金属。

5.根据权利要求1所述的基于掺杂液态金属的梯度式刚柔互联方法,其特征在于,

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所述步骤1中,液态金属中掺杂导电纳米材料后的电导率范围为1×10S/m至1×10S/m。

6.根据权利要求1所述的基于掺杂液态金属的梯度式刚柔互联方法,其特征在于,按照导电纳米材料在液态金属中掺杂比例的不同,对所述步骤2中形成的液态金属互联导线进行分区,则得到的分区的数量范围为2至100个。

7.根据权利要求1所述的基于掺杂液态金属的梯度式刚柔互联方法,其特征在于,按照导电纳米材料在液态金属中掺杂比例的不同,对所述步骤2中形成的液态金属互联导线进行分区,则各个分区中导电纳米材料的掺杂比例的变化是线性或非线性的。

8.根据权利要求1所述的基于掺杂液态金属的梯度式刚柔互联方法,其特征在于,按照导电纳米材料在液态金属中掺杂比例的不同,对所述步骤2中形成的液态金属互联导线进行分区,则最高掺杂比例的分区出现在液态金属互联导线的一个端部。