1.一种原位刻蚀金刚石的方法，其特征在于，包括以下步骤：在反应气体气氛下，利用会聚电子束刻蚀金刚石；

所述反应气体为CO2、CO、H2O中的一种；

所述反应气体气氛压强为0.01‑10mbar；

所述刻蚀的温度为室温；

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所述会聚电子束的Dose rate值为5000e/nms至2×10e/nms。