1.一种原位刻蚀金刚石的方法，其特征在于，包括以下步骤：在反应气体气氛下，利用会聚电子束刻蚀金刚石。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述反应气体为O2、CO2、CO、H2O或H2中的一种。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述反应气体为CO2。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述反应气体为O2和CO2组成的混合反应气体。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述反应气体为CO2和H2组成的混合反应气体。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述反应气体为CO2、O2和H2O组成的混合反应气体。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述反应气体气氛压强为0.01‑10mbar。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述会聚电子束的Dose rate值为5000e/

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nms至2×10e/nms。