1.一种制备皮肤触觉仿生系统的方法,其特征在于包括如下步骤:(1)对柔性衬底的表面进行等离子体处理10‑60s,该等离子体处理的刻蚀气体中包括氢气;
(2)在等离子体处理后的柔性衬底上形成底电极薄膜,于该底电极薄膜上形成氧化锌纳米线层,并在激光功率50‑200mW、激光光束直径1‑5μm、激光重复频率50‑100MHz条件下,对氧化锌纳米线层和底电极薄膜实施激光焊接固定;
(3)在氧化锌纳米线层上依次形成缺氧氧化锌薄膜及顶电极薄膜,并通过电极引线实现底电极薄膜、顶电极薄膜与脉冲电源连接,制得该皮肤触觉仿生系统。
2.根据权利要求1所述制备皮肤触觉仿生系统的方法,其特征在于:步骤(1)中,所述等离子体处理的温度为15‑30℃,等离子源功率为100‑200W,射频偏压功率为20‑40W,反应腔压强为0.1‑0.4Pa,氢气流量为5‑30sccm。
3.采用权利要求1所述的制备方法制备的皮肤触觉仿生系统,其特征在于:该仿生系统从下至上依次包括柔性衬底(1)、底电极薄膜(2)、氧化锌纳米线层(3)、缺氧氧化锌薄膜(4)及顶电极薄膜(5),所述底电极薄膜(2)和顶电极薄膜(5)通过电极引线(6)与脉冲电源(7)相连接。
4.根据权利要求3所述的皮肤触觉仿生系统,其特征在于:所述柔性衬底为聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯或聚碳酸酯薄膜。
5.根据权利要求4所述的皮肤触觉仿生系统,其特征在于:所述柔性衬底的厚度为0.5‑
1mm。
6.根据权利要求3所述的皮肤触觉仿生系统,其特征在于:所述底电极薄膜为锡掺杂氧化铟、铝掺杂氧化锌或氟掺杂氧化锡薄膜。
7.根据权利要求6所述的皮肤触觉仿生系统,其特征在于:所述底电极薄膜的厚度为
50‑1000nm。
8.根据权利要求3所述的皮肤触觉仿生系统,其特征在于:所述氧化锌纳米线层的厚度为50‑2000nm,氧化锌纳米线的长度为1‑10μm。
9.根据权利要求3所述的皮肤触觉仿生系统,其特征在于:所述缺氧氧化锌缓冲层的厚度为10‑50nm。
10.根据权利要求3所述的皮肤触觉仿生系统,其特征在于:所述顶电极薄膜的厚度为
20‑100nm。