1.一种氮化硅陶瓷基板素坯的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

S1：将市售α‑Si3N4粉体以及稀土氧化物进行预处理：高温N2对α‑Si3N4粉体以及稀土氧化物进行烘干并排氧；

S2：制备微纳浆料：

N2保护下分别将经预处理的市售α‑Si3N4粉体、稀土氧化物按比例混合在混料器中充分混匀，生成S0；在市售分散剂中加入聚硅氧烷生成L1，将非水系增塑剂和湿润剂按比例混合生成L2；将非水系粘结剂和一定量的有机溶剂在N2保护下充分搅拌溶解制成液态溶液L3；将S0、L1、L2和L3按比例混合，在砂磨机中进行研磨制成微纳浆料J0S3：制备流延片：将浆料J0经二次脱泡后流延成流延片P1；

S4：制备素坯：将若干片P1经烘干、裁切、筛选、层叠、密封和温等静压形成素坯P2；

S5：制备氮化硅基板毛板：将素坯P2经排胶后在真空气压烧结炉中烧结得氮化硅基板毛板；

所述稀土氧化物包括MgF2、CaO和Y2O3，N2保护下分别将经预处理的市售α‑Si3N4粉体、MgF2、CaO和Y2O3分别制成微纳粉体S1、S2、S3和S4，再将S1、S2、S3和S4按比例混合在混料器中充分混匀，生成S0；S2中分散剂与聚硅氧烷的比例＝100:1～20；增塑剂:湿润剂＝1～100:0.1～3；粘结剂:有机溶剂＝100:0.1～20；所述S1、S2、S3和S4分别为纯度优于99.99％的α‑Si3N4粉体和化学纯MgF2、CaO 和Y2O3；所述S1、S2、S3和S4的重量分别m1、m2、m3和m4，其比例为m1:m2:m3:m4＝100:0.1～10:0.1～10:0.1～10，m1+m2+m3+m4＝m0；所述分散剂是蓖麻油、脂肪酸、苯磺酸、鱼油、油酸、甲基辛二烯中的一种或若干种的混合物；

所述非水系增塑剂包括聚乙烯乙二醇、磷酸三甲酚酯以及酞酸酯混合物中的一种或若干种的混合物；

所述非水系粘结剂是指硝化纤维素、石油树脂、聚乙烯、聚丙烯酸脂、聚甲基丙烯、聚乙烯醇、氯乙烯、聚甲基丙烯酸脂、乙基纤维素中的一种或若干种的混合物；

所述的湿润剂是指聚氧乙烯脂；

所述的有机溶剂是指丙酮、乙醇、苯、丁醇、二丙酮、甲基异丁酮、二甲苯、三氯乙烯中的一种或若干种的混合物；所述的浆料J0是由S0、L1、L2和L3按比例混合后经砂磨机研磨得到的微纳米级浆料，S0:L1:L2:L3＝100:0.1～5:0.1～10:30～70。

2.如权利要求1所述的氮化硅陶瓷基板素坯的制备方法，其特征在于：所述S4中温等静压的条件为在等静压机中，30～40MPa压力条件下静压20～50min。

3.如权利要求1所述的氮化硅陶瓷基板素坯的制备方法，其特征在于：所述流延片P1的烘干温度不超过40℃。

4.如权利要求1所述的氮化硅陶瓷基板素坯的制备方法，其特征在于：所述流延片P1的厚度为10μm～10㎝。