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专利号: 2022105630030
申请人: 江苏方达正塬电子材料科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-08-19
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.GSPL‑SNST氮化硅流延素坯的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:S1:第一素坯的制备:

将无机物固体原料经SDPR预处理系统处理、有机添加剂经HVCM预处理系统处理生成的有机胶体后由GSPL生产线将两者混合制备得GSPL‑SNCS浆料,经真空消泡、流延、烘干形成厚度为T0的第一素坯;

所述无机物固体至少包括Si3N4粉体和无机烧结助剂粉体;

所述有机胶体至少包括蓖麻油、无水乙醇、聚甲基丙烯、聚乙烯乙二醇和单油酸甘油的混合物;

S2:第二素坯的制备:

将N层除去膜带后的第一素坯进行裁切和整齐层叠并用PET真空包装袋密封后置于等静压机中在1‑40MPa压力下静压5‑40分钟,形成由多层第一素坯融合而成的第二素坯,所述第二素坯即为GSPL‑SNST氮化硅流延素坯;

所述第二素坯的厚度为TC,所述TC也为定制的基板的厚度,则层数N的计算公式为。

2.如权利要求1所述的GSPL‑SNST氮化硅流延素坯的制备方法,其特征在于:制备所述第一素坯的厚度T0的计算公式为 ;其中,a为根据GB/T 

17473.1‑2008测定的含固率(单位为%); 和 分别为无水乙醇和有机物胶体的总质量,f为调节系数, 。

3.如权利要求2所述的GSPL‑SNST氮化硅流延素坯的制备方法,其特征在于:第一素坯的厚度T0的计算公式计算出的T0的单位为mm。

4.如权利要求1所述的GSPL‑SNST氮化硅流延素坯的制备方法,其特征在于:SDPR预处理系统为无机物固体粉体预处理系统,用于将原料中的Si3N4粉体以及无机烧结助剂粉体进行干燥、排氧的预处理;

所述HVCM预处理系统为有机添加剂预处理系统,用于将有机添加剂预处理、混合制成有机物胶体;

GSPL生产线为专用氮化硅流延浆料生产线,用于将预处理完成的无机物固体和有机物胶体混合、研磨制成维纳浆料。

5.应用权利要求1的制备方法制备的GSPL‑SNST氮化硅流延素坯,其特征在于:所述第一素坯和第二素坯的表面粗糙度不大于0.01,同时无任何方向的裂纹;同时第二素坯的横切面上,不同部位坯体的密度的变异系数不大于0.001,并且无明显分层现象和/或气孔现象。