1.一种MXene/n‑Ge高速宽带自供电光电探测器的制作方法,其特征在于:包括:
获取Ti3C2Tx胶体溶液,以及掺有Sb的n‑Ge衬底,清除n‑Ge衬底表面杂质,然后将Ti3C2Tx胶体溶液覆在n‑Ge衬底上,在室温下干燥至恒重后形成Ti3C2Tx膜层使得Ti3C2Tx膜层与n‑Ge衬底形成肖特基异质结。
2.根据权利要求1所述的MXene/n‑Ge高速宽带自供电光电探测器的制作方法,其特征在于:所述Ti3C2Tx膜层的厚度500‑600nm。
3.根据权利要求1所述的MXene/n‑Ge高速宽带自供电光电探测器的制作方法,其特征在于:获取LiF粉末并与HCl溶液进行混合均匀,再获取Ti3AlC2粉末加入到LiF与HCl的混合溶液中,搅拌直至生成Ti3C2Tx,对Ti3C2Tx进行洗涤,洗涤后离心去除掉上清液,然后进行冷冻干燥直至恒重,再加入DMF溶液冰浴超声分散制得Ti3C2Tx胶体溶液。
4.根据权利要求3所述的MXene/n‑Ge高速宽带自供电光电探测器的制作方法,其特征在于:将Ti3AlC2粉末缓慢加入到LiF与HCl的混合溶液中,并在35‑40℃下油浴搅拌直至生成Ti3C2Tx溶液。
5.根据权利要求3所述的MXene/n‑Ge高速宽带自供电光电探测器的制作方法,其特征在于:在对Ti3C2Tx进行洗涤的时候,先利用去离子水在3500‑5000rpm下离心洗涤5‑10min,离心结束后去除掉上清液,重复上述过程直至Ti3C2Tx溶液的ph值满足要求。
6.根据权利要求1所述的MXene/n‑Ge高速宽带自供电光电探测器的制作方法,其特征在于:在Ti3C2Tx胶体溶液覆膜前,对n‑Ge衬底表面进行清洗,先将n‑Ge衬底浸泡在浓度为
10‑15%的HF溶液中5‑10min,取出n‑Ge衬底再利用丙酮、甲醇依次超声清洗5‑10min,最后利用紫外臭氧清洗15‑20min。
7.一种MXene/n‑Ge高速宽带光电探测器,其特征在于:由权利要求1至6中任意一项所述的MXene/n‑Ge高速宽带光电探测器的制作方法制得而成。