1.一种氢气气敏的WOx/Pd纳米组装材料氢气传感器，其特征在于包括带有绝缘衬底的叉指电极以及在叉指电极表面先后沉积的钨氧化物WOx纳米粒子和Pd纳米粒子，钨氧化物WOx纳米粒子和Pd纳米粒子组合为无序均匀的混合结构，形成WOx/Pd混合纳米粒子组装材料；

所述WOx/Pd混合纳米粒子组装材料中，Pd纳米粒子的质量占比为0.5%~10%；

所述的WOx/Pd纳米组装材料氢气传感器的制备方法，包括以下步骤：（1）将高纯度WO3和Pd靶材分别放置在团簇束流沉积设备的两个溅射枪上，将叉指电极放置在团簇束流沉积系统的沉积室内，对整个装置采取抽真空；

（2）所述两个溅射枪上均通入溅射气，并向团簇束流沉积系统的溅射腔中通入缓冲气；

（3）先后分别溅射WO3和Pd靶材，在叉指电极表面沉积WOx和Pd纳米粒子。

2.如权利要求1所述的一种氢气气敏的WOx/Pd纳米组装材料氢气传感器，其特征在于步骤（2）中，以纯度99.99%以上的高纯氩气作为溅射气和缓冲气，溅射腔内气压保持在40~

120Pa。

3.如权利要求1所述的一种氢气气敏的WOx/Pd纳米组装材料氢气传感器，其特征在于步骤（3）中，将WO3靶材的溅射功率设置为20~25W，其溅射电流为0.045~0.05A，溅射电压为450

500 V，溅射时间为180 250 s。

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4.如权利要求1所述的一种氢气气敏的WOx/Pd纳米组装材料氢气传感器，其特征在于步骤（3）中，将Pd靶材的溅射功率设置为10 15 W，其溅射电流为0.035 0.042A，溅射电压为~ ~

300 360 V。

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