1.一种具有部分P型漂移区的IGBT,其元胞包括集电极结构、耐压层结构、发射极结构和栅极结构,其中耐压层结构位于集电极结构之上,发射极结构和栅极结构位于耐压层结构之上;
所述集电极结构包括集电极金属(1)、P+集电极区(2)和N型场截止层(3);所述集电极金属(1)的下表面引出端为器件的集电极(C);所述P+集电极区(2)位于集电极金属(1)的上表面;所述N型场截止层(3)位于P+集电极区(2)的上表面;
所述发射极结构包括P型阱区(7)、N型发射极区(9)、P型体接触区(8)以及发射极金属(10);所述P型阱区(7)位于耐压层结构上表面;所述N型发射极区(9)和P型体接触区(8)位于P型阱区(7)上表面;所述发射极金属(10)的下表面同时与N型发射极区(9)和P型体接触区(8)的上表面接触,其上表面的引出端为器件的发射极(E);
所述栅极结构为沟槽栅结构,包括绝缘介质(12)和导电材料(11);所述导电材料(11)位于绝缘介质(12)内,引出端为器件的栅极(G);所述绝缘介质(12)从器件表面垂直穿过P型阱区(7)与耐压层结构接触,绝缘介质(12)的侧面与P型阱区(7)和N型发射极区(9)接触;
其特征在于,所述耐压层结构包括N型漂移区(4)和P型漂移区(5),两者呈现上下堆叠的形式;所述N型漂移区(4)的下表面与N型场截止层(3)的上表面接触,上表面与P型漂移区(5)的下表面接触;所述P型漂移区(5)的上表面同时与绝缘介质(12)以及P型阱区(7)的下表面接触。